微磨削機理的試驗研究.pdf

1、微小型元器件由于有著體積和質(zhì)量微小、能耗較低、移植性和替代性好以及材料成本低等諸多優(yōu)點，從而在許多行業(yè)中得到了廣泛應(yīng)用，因此越來越多關(guān)于微小件的制造技術(shù)和產(chǎn)品開發(fā)技術(shù)被人們所重視和研究。在微制造領(lǐng)域內(nèi)，微磨削加工技術(shù)被看作是在傳統(tǒng)磨削技術(shù)的基礎(chǔ)上創(chuàng)造的一種新型微制造技術(shù)。然而，目前關(guān)于微磨削機理及其相關(guān)試驗的研究相對較少，通過對微磨削機理及相關(guān)試驗的研究對于理解微制造中的尺寸效應(yīng)、被加工工件的表面質(zhì)量和微磨削工藝有著相當重要的現(xiàn)實指導(dǎo)意

2、義，從而可以對微磨削技術(shù)進行工藝優(yōu)化與控制，最后應(yīng)用于生產(chǎn)實踐。
　　本文主要針對微磨削機理、微磨削機床系統(tǒng)及試驗準備和微磨削工件的試驗情況進行了若干探索性的研究，具體說明如下:
　　首先，在廣泛了解國內(nèi)外研究現(xiàn)狀的前提下，對微磨削過程中的微磨削力模型進行了簡要的概括，結(jié)合MSG應(yīng)變梯度理論修正了微磨削下的本構(gòu)模型，并且概括分析了微磨削相關(guān)理論公式及其適用范圍。
　　其次，對微磨削機床試驗系統(tǒng)的外部硬件進行了一些補充和

3、完善，包括基于兩個直流電磁閥的主軸氣路和靜壓軸承氣路控制的電路系統(tǒng)設(shè)計以及外圍氣路的選擇布置，還有采用兩種上砂方法電鍍制備微磨棒的理論與試驗研究。
　　然后，采用二次回歸正交旋轉(zhuǎn)組合設(shè)計方法設(shè)計了19組微磨削鈦合金試驗，并結(jié)合響應(yīng)曲面法(RSM)，分析了主軸轉(zhuǎn)速、進給速度、磨削深度對表面粗糙度的影響規(guī)律，為優(yōu)化微磨削參數(shù)和控制表面質(zhì)量提供了依據(jù)，為后續(xù)的應(yīng)用提供了一定的指導(dǎo)。
　　最后，對微磨削光學(xué)玻璃試驗簡要分析了彈性回復(fù)