掩膜板在線(xiàn)更換伺服系統(tǒng)的精度控制研究.pdf

1、在制造工業(yè)發(fā)展的今天，精度問(wèn)題一直是人們所關(guān)心的重要問(wèn)題。如何提高精度，也成為了人們現(xiàn)在研究的主要話(huà)題。在制造工業(yè)中廣泛使用交流伺服電機(jī)來(lái)提高加工產(chǎn)品的精度。目前的交流伺服電機(jī)普遍應(yīng)用控制技術(shù)，伺服驅(qū)動(dòng)器的使用，大大提高了伺服電機(jī)的運(yùn)功性能。高精度在線(xiàn)自動(dòng)更換掩膜板技術(shù)，基于三菱PLC伺服控制系統(tǒng)，通過(guò)PLC控制三套伺服系統(tǒng)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)掩膜板高精度在線(xiàn)自動(dòng)更換的功能。本系統(tǒng)主要的問(wèn)題也是精度的研究，如何實(shí)現(xiàn)高精度在線(xiàn)自動(dòng)更換是本文主要研究

2、的內(nèi)容。本文主要從伺服驅(qū)動(dòng)器的參數(shù)優(yōu)化設(shè)計(jì)和伺服系統(tǒng)的程序優(yōu)化設(shè)計(jì)考慮，來(lái)對(duì)伺服進(jìn)給系統(tǒng)的精度控制進(jìn)行研究。
　?。?）伺服進(jìn)給系統(tǒng)主要包括伺服電機(jī)，伺服驅(qū)動(dòng)器，以及高精度伺服進(jìn)給裝置。本文根據(jù)三個(gè)伺服驅(qū)動(dòng)器的不同工作條件，設(shè)置不同的伺服驅(qū)動(dòng)器的參數(shù)，達(dá)到每個(gè)伺服電機(jī)能夠高效，穩(wěn)定，高精度的運(yùn)行，消除伺服電機(jī)在運(yùn)行過(guò)程中對(duì)機(jī)械振動(dòng)，爬行現(xiàn)象的影響，能夠有效提高控制系統(tǒng)的精度。
　?。?）伺服系統(tǒng)的程序設(shè)計(jì)，主要包括伺服電機(jī)的

3、原點(diǎn)回歸和定位控制程序。本系統(tǒng)設(shè)計(jì)的轉(zhuǎn)盤(pán)回歸程序與轉(zhuǎn)盤(pán)定位程序都是朝一個(gè)方向旋轉(zhuǎn)，意味著轉(zhuǎn)盤(pán)伺服電機(jī)永遠(yuǎn)只向一個(gè)方向旋轉(zhuǎn)，有效的消除了蝸輪蝸桿減速器在回程時(shí)的齒輪間隙誤差，提高了轉(zhuǎn)盤(pán)的定位精度。在轉(zhuǎn)盤(pán)選擇相對(duì)位置編程指令下，設(shè)置相位掩膜板抓取順序表，設(shè)計(jì)伺服控制算法程序，保證在系統(tǒng)運(yùn)行過(guò)程中，定位抓取任意一個(gè)相位掩膜板的時(shí)間是等同的。根據(jù)需求，分別設(shè)置轉(zhuǎn)盤(pán)與二位傳送平臺(tái)的定位控制指令。
　?。?）在設(shè)置完成所有伺服驅(qū)動(dòng)器的參數(shù)設(shè)計(jì)