太陽(yáng)能電池微納抗反射結(jié)構(gòu)研究.pdf

1、太陽(yáng)能是一種資源非常豐富，清潔無(wú)污的可再生能源。利用太陽(yáng)能光伏發(fā)電是解決當(dāng)前對(duì)能源急迫需求的一項(xiàng)重要技術(shù)，而光伏發(fā)電對(duì)轉(zhuǎn)換效率提出了越來(lái)越高的要求。微納米加工技術(shù)制備的微納結(jié)構(gòu)具有各種優(yōu)異的性能，尤其是具有抗反射特性的微納陣列結(jié)構(gòu)能夠降低反射率，增加太陽(yáng)能電池中的光子通量，從而獲得更高的轉(zhuǎn)換效率。這些性能優(yōu)異的微納抗反射結(jié)構(gòu)為改善太陽(yáng)能電池性能提供了解決方案，有著非常好的應(yīng)用前景。
　　本文首先介紹了太陽(yáng)能電池基本原理，給出了轉(zhuǎn)換

2、效率、填充因子、短路電流、開路電壓之間的聯(lián)系，為后續(xù)研制高效率太陽(yáng)能電池提供理論依據(jù)；分析了微納抗反射結(jié)構(gòu)及其在太陽(yáng)能電池中的研究現(xiàn)狀。并運(yùn)用嚴(yán)格耦合波分析法與等效介質(zhì)理論分析計(jì)算了微納結(jié)構(gòu)的光電特性，探討了在太陽(yáng)能電池前表面或背面制備微納抗反射結(jié)構(gòu)的光學(xué)優(yōu)化的方案，以改善太陽(yáng)能電池性能。
　　利用X射線曝光技術(shù)制備了周期約為300nm，高度約為500nm的亞波長(zhǎng)光柵陣列結(jié)構(gòu)。分析了X光曝光劑量、PMMA膠、X光掩膜版與樣品間距對(duì)