高精度微光學(xué)加速度計(jì)信號(hào)處理系統(tǒng).pdf

1、本文提出了一種高精度微加速度計(jì)的信號(hào)處理系統(tǒng)。光學(xué)加速度計(jì)高精度、高靈敏度和不易受電磁干擾特性使得它成為慣性導(dǎo)航應(yīng)用中潛力比較大的技術(shù)。微制造尤其是MEMS的技術(shù)進(jìn)步很好的促進(jìn)了光學(xué)加速度計(jì)的發(fā)展，使得光學(xué)加速度計(jì)不但具有光學(xué)測(cè)量的優(yōu)點(diǎn)，還具有了微型傳感器體積小、可靠性高、易于制造、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好、可批量生產(chǎn)、價(jià)格低等特點(diǎn)。因此微光學(xué)加速度計(jì)非常具有研究和應(yīng)用價(jià)值。
　　 本文主要研究?jī)?nèi)容包括以下幾個(gè)方面:
　　 1.全面

2、了解和研究了加速度傳感器的相關(guān)基礎(chǔ)知識(shí)，對(duì)傳感器的發(fā)展歷史和分類進(jìn)行了簡(jiǎn)單介紹。結(jié)合MEMS和MOEMS的概念，分析了目前一些典型的MEMS和MEEMS加速度傳感器的工作原理及各自的優(yōu)缺點(diǎn)。
　　 2.研究了加速度傳感器的各種檢測(cè)系統(tǒng)，從理論模型對(duì)其進(jìn)行了分析，尤其是基于相位載波解調(diào)技術(shù)，為本文信號(hào)處理系統(tǒng)奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。
　　 3.提出了高精度、低噪聲、抗干擾的高精度微加速度計(jì)信號(hào)處理系統(tǒng)，包括高精度微加速度計(jì)的整體

3、系統(tǒng)設(shè)計(jì)和基本原理，光電探測(cè)器的選擇、差分放大電路和帶通濾波器的設(shè)計(jì)，電路板的制作，使用PZT和鎖相放大器調(diào)制與解調(diào)過程，以及DSP數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)處理。該部分是是本課題研究的核心內(nèi)容。
　　 4.詳細(xì)介紹了實(shí)驗(yàn)平臺(tái)的搭建，并分析了1g翻滾測(cè)試、靜態(tài)漂移實(shí)驗(yàn)和噪聲分析實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)，由實(shí)驗(yàn)結(jié)果可得該高精度微光學(xué)加速度信號(hào)處理系統(tǒng)的靈敏度達(dá)到0.1 ug，根據(jù)數(shù)據(jù)分析，該系統(tǒng)的分辨率還有很大的提升空間。
　　 最后對(duì)本文所涉及的研