脈沖電壓測量單元設計.pdf

1、密級桂林電子科技大學碩士學位論文題目脈沖電壓測量單元設計（英文）（英文）TheDesignofPulseVoltageMeasuringUnit研究生學號:122081822研究生姓名:唐源指導教師姓名、職務指導教師姓名、職務:李智教授申請學位門類:工學碩士學科、專學科、專業(yè)名稱:儀器科學與技術提交論文日期:2015年4月論文答辯日期:2015年6月摘要I摘要半導體器件廣泛應用于航空航天、交通運輸、電力等重點領域，而我國半導體的材料、制

2、造工藝、生產技術等與美國等發(fā)達國家相比，仍有比較大的差距。為加快國內半導體器件工藝等技術的發(fā)展，需要研制脈沖電壓測量裝置，用來測試半導體器件的動態(tài)參數。本系統(tǒng)采用了LXI總線技術，因此能夠快速地組建分布式測試系統(tǒng)。目前，國際上脈沖電壓測量單元并不同時具備高速和高分辨率的功能特征，針對此現(xiàn)狀，需要研制高速高精度的脈沖電壓測量單元。本論文根據系統(tǒng)指標要求，討論了脈沖電壓測量單元的主要組成部分及其實現(xiàn)方式，通過分析和比較提出了脈沖電壓測量單元

3、的系統(tǒng)設計方案。本設計主要完成了模擬前端電路設計、信號采集存儲與控制電路設計、LXI總線接口電路設計三大部分的工作。模擬前端電路主要是對模擬輸入信號進行調理，使其能夠在模數轉換器輸入信號的范圍之內。該電路主要包括無源衰減網絡電路、阻抗變換電路、后級放大電路、ADC驅動電路等。信號采集存儲與控制電路采用采樣率為160MSas的ADS4126作為模數轉換器，采用FPGA對采樣數據進行接收與緩存，設計并完成了脈沖電壓信號的實時檢測電路。LXI