玻璃基SnO2-Sb-SiO2減反射抗靜電雙功能薄膜的研究.pdf

1、將具有減反射和抗靜電功能的鍍膜玻璃復(fù)合于一體，使之具有雙重功能，可以很好的應(yīng)用于顯示器、建筑玻璃等領(lǐng)域。本文以無(wú)機(jī)金屬鹽SnCl2·2H2O、SbCl3，正硅酸乙酯、無(wú)水乙醇為原料，采用溶膠凝膠浸漬提拉法在普通玻璃基片表面制備了ATO(SnO2∶Sb)透明導(dǎo)電薄膜、SiO2減反膜、單層ATO-SiO2、雙層ATO/ATO-SiO2減反射抗靜電雙功能薄膜，研究了薄膜制備參數(shù)對(duì)其結(jié)構(gòu)和性能的影響，并對(duì)薄膜的電學(xué)性能、光學(xué)性能、表面形貌等薄膜

2、特性進(jìn)行了表征。得出以下結(jié)論:
　　 (1) ATO膜層厚度為10c、Sb的摩爾摻雜量為5％、熱處理溫度為500℃時(shí)，薄膜的可見(jiàn)光區(qū)平均透過(guò)率為70％左右，方塊電阻為78.7Ω/，電阻率為6.532×10-3Ω·cm，并且薄膜表面均勻平整無(wú)裂紋;FESEM放大20萬(wàn)倍的薄膜表面顆粒排列平整均勻，有孔狀結(jié)構(gòu)出現(xiàn);XRD圖譜顯示ATO薄膜在衍射角為26.4°、33.8°、51.7°時(shí)分別出現(xiàn)了(110)、(101)、(211)面的衍

3、射峰，說(shuō)明薄膜為四方相金紅石結(jié)構(gòu)，且無(wú)其它雜相，衍射峰比較明顯，無(wú)明顯擇優(yōu)取向;
　　 (2) SiO2減反射薄膜樣品表面均勻平整無(wú)裂紋;膜層厚度在3c時(shí)薄膜增透/減反射效果最好，可見(jiàn)光區(qū)平均透過(guò)率達(dá)到92.67％，平均增透率為2.13％；透過(guò)率隨熱處理溫度的升高先增加后減小;熱處理時(shí)間的增加會(huì)導(dǎo)致玻璃基片中鈉離子擴(kuò)散至膜層中影響薄膜性能，最佳熱處理時(shí)間為0.5h;
　　 (3)單層ATO-SiO2減反射抗靜電薄膜的表面

4、電阻達(dá)到了108Ω的數(shù)量級(jí);隨ATO含量的增加，薄膜在可見(jiàn)光波段的透過(guò)率依次減小，反射率依次增加。在ATO含量為0時(shí)，由于薄膜整體折射率最小，增透效果最明顯，可見(jiàn)光區(qū)平均透過(guò)率達(dá)到92.67％，同時(shí)反射率為6.78％;
　　 (4) XRD表征的雙層ATO/ATO-SiO2減反射抗靜電薄膜主要呈玻璃態(tài)的包峰曲線;FESEM圖像顯示薄膜表面ATO顆粒均勻分散在SiO2基體中;雙層ATO/ATO-SiO2減反射抗靜電薄膜的表面電阻隨

5、ATO含量的增加而減小，達(dá)到了106Ω的數(shù)量級(jí);隨著ATO含量的增加，薄膜的可見(jiàn)光區(qū)平均透過(guò)率基本上呈依次減小的趨勢(shì)，與之相對(duì)應(yīng)的反射率則依次增加。在ATO摩爾含量為3％時(shí)，最高可見(jiàn)光平均透過(guò)率和最低反射率分別為93.57％和5.15％;在紫外波段，薄膜的透過(guò)率曲線的紫外吸收邊紅移;雙層ATO/ATO-SiO2薄膜中ATO膜層厚度和含量的增加均可明顯減小薄膜電阻，表面電阻達(dá)到了105Ω以下，接近導(dǎo)體導(dǎo)電水平，但同時(shí)薄膜的透過(guò)率依次降低；