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文檔簡介
1、位移傳感器是一種重要的測量工具,在交通,醫(yī)療,建筑,機(jī)械制造等行業(yè)中有著廣泛而重要的應(yīng)用。本文通過綜述磁敏傳感器發(fā)展現(xiàn)狀的基礎(chǔ),提出巨磁阻抗磁敏傳感器的發(fā)展前景,從而選擇具有寬線性區(qū)高靈敏度巨磁阻抗特性的FeCoNbSiB和FeSiBPCu非晶合金組合薄帶作為磁敏探頭芯,基于該磁芯研制了兩款磁敏傳感器,實(shí)現(xiàn)了測量范圍大、靈敏高,功耗少等優(yōu)點(diǎn),主要工作內(nèi)容如下:
一、用單輥快淬法制備FeCoNbSiB和FeSiBPCu非晶薄帶樣
2、品,詳細(xì)研究了電流退火對FeCoNbSiB合金薄帶巨磁阻抗效應(yīng)的影響。研究結(jié)果表明獲得了FeCoNbSiB合金薄帶的最佳退火電流為40A/mm2左右其阻抗比能達(dá)到1800%,而將一根為40A/mm2電流加108Mpa張應(yīng)力退火FeCoNbSiB薄帶樣品,另一根為500℃溫度退火后的FeSiBPCu薄帶樣品,兩根樣品同時放入線圈后,樣品實(shí)現(xiàn)了非對稱的GMI,其在-160A/m至160A/m磁場強(qiáng)度范圍內(nèi)靈敏度為4.375%/(A·m-1)
3、。
二、研制了兩款基于巨磁阻抗效應(yīng)的磁敏傳感器,并進(jìn)行性能測量。
1.驅(qū)動信號為正弦波驅(qū)動的GMI磁敏傳感器在-651.14~325.57A/m有著良好的線性度,其靈敏度為3.49mV/A·m-1,而非線性偏差只有0.016v,最大重復(fù)性誤差為0.012v,最大遲滯性誤差為0.013v。
2.驅(qū)動信號為脈沖波的GMI磁敏傳感器在-279.06~279.06A/m有著良好的線性度,其靈敏度為12.65mV/A
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