基于巨磁阻抗效應(yīng)的位移傳感器研究.pdf

1、位移傳感器是一種重要的測量工具，在交通，醫(yī)療，建筑，機(jī)械制造等行業(yè)中有著廣泛而重要的應(yīng)用。本文通過綜述磁敏傳感器發(fā)展現(xiàn)狀的基礎(chǔ)，提出巨磁阻抗磁敏傳感器的發(fā)展前景，從而選擇具有寬線性區(qū)高靈敏度巨磁阻抗特性的FeCoNbSiB和FeSiBPCu非晶合金組合薄帶作為磁敏探頭芯，基于該磁芯研制了兩款磁敏傳感器，實(shí)現(xiàn)了測量范圍大、靈敏高，功耗少等優(yōu)點(diǎn)，主要工作內(nèi)容如下:
　　一、用單輥快淬法制備FeCoNbSiB和FeSiBPCu非晶薄帶樣

2、品，詳細(xì)研究了電流退火對FeCoNbSiB合金薄帶巨磁阻抗效應(yīng)的影響。研究結(jié)果表明獲得了FeCoNbSiB合金薄帶的最佳退火電流為40A/mm2左右其阻抗比能達(dá)到1800％，而將一根為40A/mm2電流加108Mpa張應(yīng)力退火FeCoNbSiB薄帶樣品，另一根為500℃溫度退火后的FeSiBPCu薄帶樣品，兩根樣品同時放入線圈后，樣品實(shí)現(xiàn)了非對稱的GMI，其在-160A/m至160A/m磁場強(qiáng)度范圍內(nèi)靈敏度為4.375％/(A·m-1)

3、。
　　二、研制了兩款基于巨磁阻抗效應(yīng)的磁敏傳感器，并進(jìn)行性能測量。
　　1.驅(qū)動信號為正弦波驅(qū)動的GMI磁敏傳感器在-651.14～325.57A/m有著良好的線性度，其靈敏度為3.49mV/A·m-1，而非線性偏差只有0.016v，最大重復(fù)性誤差為0.012v，最大遲滯性誤差為0.013v。
　　2.驅(qū)動信號為脈沖波的GMI磁敏傳感器在-279.06～279.06A/m有著良好的線性度，其靈敏度為12.65mV/A