精密光學(xué)玻璃平板檢測儀器的隔振系統(tǒng)優(yōu)化設(shè)計.pdf

1、伴隨著科學(xué)技術(shù)的不斷進步，精密加工設(shè)備和精密測量儀器的精度也在逐漸提高。來自環(huán)境的振動干擾對精密儀器的測量精度的影響不可忽略，精密測量儀器的隔振技術(shù)已成為本領(lǐng)域科學(xué)研究和工程應(yīng)用中的重要課題。為了滿足精密儀器工作時對振動的控制要求，需要針對不同的設(shè)備采用不同的隔振系統(tǒng)，來取得更加優(yōu)異的隔振效果，使得精密儀器能夠獲得穩(wěn)定的工作環(huán)境。
　　本文針對一種高精度的大型平板顯示屏自動光學(xué)檢測儀器機臺隔振系統(tǒng)，提出了雙層隔振方案，較為系統(tǒng)地研

2、究了雙層隔振系統(tǒng)的有關(guān)基礎(chǔ)理論，在此基礎(chǔ)上對平板顯示屏自動光學(xué)檢測儀器的隔振系統(tǒng)進行了設(shè)計。主要研究內(nèi)容包括:針對本文的雙層隔振系統(tǒng)，采用四端參數(shù)法進行理論建模分析，建立了矢量四端網(wǎng)絡(luò)參數(shù)模型。依據(jù)隔振原理，在Adams中建立精密光學(xué)檢測儀器雙層隔振系統(tǒng)模型，分析了單層隔振系統(tǒng)，與雙層隔振系統(tǒng)對儀器設(shè)備隔振效果的影響;研究了雙層隔振系統(tǒng)中隔振器的安裝位置，隔振器剛度，基礎(chǔ)板厚度，隔振器形狀，以及中間質(zhì)量和上層機械設(shè)備的質(zhì)量比對隔振效果的