FabrY-Perot腔光學(xué)微流控生物傳感器的研制.pdf

1、基于折射率檢測技術(shù)的光學(xué)微流控生物傳感器，由于其具備對分析物免標(biāo)記、實時快捷、高靈敏度、抗電磁干擾能力強(qiáng)、低探測極限等優(yōu)點而得到廣泛關(guān)注。目前光學(xué)微流控傳感器主要包括表面等離子共振(SPR)型、回音廊模式諧振腔型、Fabry-Perot諧振腔型以及光纖光柵型等。其中只有SPR傳感器實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，并在生物醫(yī)學(xué)研究、環(huán)境監(jiān)測、醫(yī)療健康等領(lǐng)域獲得廣泛應(yīng)用。Fabry-Perot腔傳感器不僅可以進(jìn)行體探測（例如活細(xì)胞），還能進(jìn)行表面探測，是近年來

2、的研究熱點之一。
　　本文設(shè)計并制備了高Q值的全玻璃結(jié)構(gòu)的Fabry-Perot腔光學(xué)微流控生物傳感器，并且設(shè)計搭建了基于光學(xué)差分探測以及鎖相放大探測的低噪聲測試系統(tǒng)。所采用的全玻璃夾層結(jié)構(gòu)能夠有效地消除溝道表面的刻蝕粗糙度，并相比Si襯底的傳感器而言，能夠?qū)⒐ぷ鞑ㄩL擴(kuò)展到可見光以及紫外波段。制備的腔長為170μm的Fabry-Perot傳感器的Q值達(dá)到875，并且結(jié)合光學(xué)差分以及鎖相檢測使得系統(tǒng)噪聲低至1.2nV。研制的Fabr