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1、可調(diào)諧光學濾波器是現(xiàn)代光通信系統(tǒng)和傳感器網(wǎng)絡(luò)的關(guān)鍵器件,利用微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的法布里-珀羅(Fabry-Perot)腔可調(diào)光學濾波器以其體積小、性能高、成本低等優(yōu)點成為眾多解決方案中有力的競爭者之一.該論文以該類型濾波器為研究對象,從理論與實際工藝制備等方面對其進行了探索.論文闡述了F-P干涉儀的一般理論,利用矩陣法計算了多種的四分之一波堆光學介質(zhì)薄膜的反射率和反射相移.以此為基礎(chǔ),較為系統(tǒng)地研究了高反射鏡面的反射相移及其色散
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