基于MEMS技術的Fabry-Perot腔可調光學濾波器研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、可調諧光學濾波器是現(xiàn)代光通信系統(tǒng)和傳感器網絡的關鍵器件,利用微機電系統(tǒng)(MEMS)技術的法布里-珀羅(Fabry-Perot)腔可調光學濾波器以其體積小、性能高、成本低等優(yōu)點成為眾多解決方案中有力的競爭者之一.該論文以該類型濾波器為研究對象,從理論與實際工藝制備等方面對其進行了探索.論文闡述了F-P干涉儀的一般理論,利用矩陣法計算了多種的四分之一波堆光學介質薄膜的反射率和反射相移.以此為基礎,較為系統(tǒng)地研究了高反射鏡面的反射相移及其色散

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