熔石英光學(xué)元件亞表層損傷實(shí)驗(yàn)研究.pdf

1、熔石英光學(xué)材料是一種高新技術(shù)產(chǎn)品，在現(xiàn)代各領(lǐng)域的應(yīng)用越來(lái)越廣泛，特別是航天航空等領(lǐng)域具有大量應(yīng)用需求，其制造成本和制造工藝的復(fù)雜性遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)其他同類產(chǎn)品。由于其產(chǎn)品的制造難度較大，因此其成品質(zhì)量的高低就成為了人們最為關(guān)注的問(wèn)題，其中尤以亞表層損傷的問(wèn)題至關(guān)重要。本文就以熔石英光學(xué)元件的亞表層損傷機(jī)理、檢測(cè)實(shí)驗(yàn)方法及工藝等方面進(jìn)行了相關(guān)的研究和論述。
　　論述了幾種常用的亞表層損傷檢測(cè)方法和原理，分析了其優(yōu)缺點(diǎn)。在此基礎(chǔ)上說(shuō)明了使用熒

2、光共聚焦顯微技術(shù)來(lái)檢測(cè)光學(xué)元件亞表層損傷的可行性和準(zhǔn)確性。
　　從受力分析、形成原因和損傷結(jié)構(gòu)等幾個(gè)方面對(duì)亞表層損傷的形成機(jī)理進(jìn)行了深入的研究和討論，通過(guò)角度拋光實(shí)驗(yàn)展示了亞表層損傷的幾種不同微觀形貌。從光學(xué)顯微鏡下得到了損傷層的大致深度，進(jìn)一步通過(guò)納米壓痕實(shí)驗(yàn)論證試件表面裂紋的產(chǎn)生和擴(kuò)散機(jī)理。計(jì)算得到熔石英玻璃的維氏硬度和斷裂韌性值，驗(yàn)證了亞表層損傷機(jī)理的準(zhǔn)確性。
　　使用共聚焦激光掃描顯微鏡對(duì)熔石英玻璃試件的亞表層損傷進(jìn)

3、行了檢測(cè)實(shí)驗(yàn)。在熒光檢測(cè)實(shí)驗(yàn)中詳細(xì)解釋了熒光量子點(diǎn)的構(gòu)成、性質(zhì)和量子點(diǎn)熒光現(xiàn)象的產(chǎn)生過(guò)程，重點(diǎn)使用共聚焦顯微鏡獲得了試件的亞表層損傷層析圖像。對(duì)比角度拋光法所得到的亞表層損傷深度，可以明確在一定的加工條件下亞表層損傷的分布情況。使用圖像處理軟件Image-Pro Plus6.0分析了亞表層損傷的分布圖像及分布密度，定量的給出了亞表層損傷的基本規(guī)律。
　　通過(guò)一系列的研拋實(shí)驗(yàn)，分析研究在研拋過(guò)程中熔石英光學(xué)元件的加工參數(shù)與表面質(zhì)量之