膜狀污染物對(duì)激光致熔石英元件損傷影響的研究.pdf

1、在高功率激光驅(qū)動(dòng)裝置系統(tǒng)中，光學(xué)元件的負(fù)載能力是影響高功率激光器輸出的重要因素。污染物是使激光致光學(xué)元件損傷閾值和使用壽命降低的重要原因。所研究污染物致光學(xué)元件損傷機(jī)理是發(fā)展高功率激光驅(qū)動(dòng)裝置的當(dāng)務(wù)之急。
　　通過(guò)對(duì)污染物成分的分析，進(jìn)行了激光誘導(dǎo)不銹鋼膜狀污染物致熔石英損傷實(shí)驗(yàn)研究，其中得到的結(jié)論如下：
　　1.給出了高功率激光致光學(xué)元件損傷中污染物的定義。
　　2.利用擦拭取樣和真空采樣罐取樣得到了污染物樣品，并利

2、用 GS-MS、LC-MS、XPS、ICP-MAS等儀器分析了污染物成分。
　　3.通過(guò)實(shí)驗(yàn)比較分析了S-on-1方法與R-on-1方法在測(cè)量附著污染物光學(xué)元件損傷閾值時(shí)的優(yōu)劣性。搭建實(shí)驗(yàn)平臺(tái)，使用 SAGA-S激光器輻照樣品并利用S-on-1方法測(cè)量樣品損傷閾值。
　　4.使用激光能量密度為6J/cm2的脈沖激光繼續(xù)輻照損傷點(diǎn)以得到損傷增長(zhǎng)模型，對(duì)附著污染物樣品和純凈基片的損傷因子進(jìn)行比較，并觀察損傷點(diǎn)形貌的變化情況。