隨機(jī)散射表面掃描白光干涉信號的蒙特卡羅模擬.pdf

1、斷口表面是零件在試驗(yàn)以及使用的過程中斷裂形成的形貌復(fù)雜的隨機(jī)表面,在掃描白光干涉檢測系統(tǒng)中,由于斷口表面大量分布著不同形狀和深度的凹坑,這種凹凸不平的情況使入射光發(fā)生多次反射,從而增加了實(shí)驗(yàn)獲取表面完整信息的難度。蒙特卡羅方法是一種以抽樣理論及產(chǎn)生隨機(jī)數(shù)為基礎(chǔ)的隨機(jī)性方法,它是根據(jù)所需要求得的問題的潛在變化規(guī)律,又或者是這種物理現(xiàn)象本身所特有的統(tǒng)計(jì)規(guī)律,人為的方式構(gòu)造出一個(gè)理論的概率模型,對該模型進(jìn)行大量的實(shí)驗(yàn)研究,從而使得它的某些參量

2、正好是需要求的問題的解。由于在白光干涉現(xiàn)象中,光粒子的運(yùn)動本身具有隨機(jī)性,因此在本課題中運(yùn)用蒙特卡羅的方法來實(shí)現(xiàn)對表面白光干涉信號進(jìn)行模擬。
　　本文首先通過對白光干涉檢測系統(tǒng)、隨機(jī)表面各相關(guān)參數(shù)以及蒙特卡羅模擬的基本原理進(jìn)行闡述,通過研究實(shí)現(xiàn)對隨機(jī)表面掃描白光干涉理論公式進(jìn)行推導(dǎo),隨后結(jié)合蒙特卡羅方法的基本原理,運(yùn)用蒙特卡羅方法對隨機(jī)表面掃描白光干涉信號進(jìn)行模擬,并通過仿真分析驗(yàn)證了不同光源光譜分布、表面粗糙度以及系統(tǒng)中存在的噪