基于掃描白光干涉法的二元光學(xué)器件表面誤差分析.pdf

1、隨著二元光學(xué)器件(Binary Optical Element)在諸如空間技術(shù)、超精密加工、微光機(jī)電系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)技術(shù)、信息處理、光纖通信、生物醫(yī)學(xué)、國(guó)防軍事等眾多領(lǐng)域廣泛應(yīng)用，BOE表面質(zhì)量檢測(cè)以及加工工藝過(guò)程中控制參數(shù)的檢測(cè)變得日益重要。對(duì)二元光學(xué)器件表面質(zhì)量參數(shù)進(jìn)行無(wú)損納米級(jí)的尺度檢測(cè)是保證其制作工藝滿足精度要求及系統(tǒng)有良好性能的前提和主要手段。在眾多微觀光學(xué)元件表面輪廓的測(cè)量方法當(dāng)中，掃描白光干涉法的技術(shù)特點(diǎn)是：實(shí)現(xiàn)高精度、三維以

2、及實(shí)時(shí)快速的無(wú)損測(cè)量，而且掃描白光干涉系統(tǒng)結(jié)構(gòu)較簡(jiǎn)單，操作方便以及投入樣品表面檢測(cè)的費(fèi)用較少。
　　本課題首先應(yīng)用實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)的掃描白光干涉微納檢測(cè)儀對(duì)二元光學(xué)器件樣品表面進(jìn)行測(cè)量，并由圖像傳感器和圖像采集卡將元件表面的干涉圖像同步實(shí)時(shí)保存于計(jì)算機(jī)的硬盤(pán)當(dāng)中，同時(shí)利用快速空間頻域算法和位相解包裹對(duì)得到的測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行處理。根據(jù)計(jì)算得到的樣品表面每個(gè)像素單元的高度信息，重建出樣品表面微觀輪廓的三維形貌。依據(jù)重建出的樣品表面高度，一方面通