環(huán)形光源在Fizeau干涉系統(tǒng)中的設(shè)計與研究.pdf

1、在高分辨率高精度光學(xué)干涉檢測過程中,系統(tǒng)中元件的缺陷及干涉環(huán)境中(除干涉腔外)的微小顆粒產(chǎn)生的寄生干涉條紋等相干噪聲,嚴重制約著干涉測試精度的提高。因此,本論文針對干涉系統(tǒng)檢測過程中存在的相干噪聲,從干涉系統(tǒng)的光源部分入手,展開了對抑制相干噪聲方法的研究,得到了若干有意義的結(jié)果。
　　 根據(jù)干涉成像系統(tǒng)的理論模型,以最大化抑制相干噪聲為目標,深入分析了環(huán)形光源照明模式下的干涉模型,該照明方法具有在抑制相干噪聲的同時,最優(yōu)化的保留

2、了干涉條紋的對比度。然后,通過范西特-澤尼克(Van Cittert-Zemike)定理對環(huán)形光源與準點光源的空間相干度進行對比,得到了環(huán)形光源照明的光場強度分布及對比度表達式,并進一步模擬了離軸照明方法所引起的問題,并就環(huán)形光源半徑的大小,寬度及干涉腔長等參量與干涉條紋對比度之間的關(guān)系進行了驗證、分析與討論。
　　 為了驗證環(huán)形光源具有抑制相干噪聲的能力,在Zemax光學(xué)設(shè)計軟件中,通過光柵衍射的方法得到了環(huán)形光源,并設(shè)計建模