基于MEMS工藝的太赫茲濾波器的研究.pdf

1、分類號密級UDC1注學(xué)位論文基于MEMS工藝的太赫茲濾波器的研究（題名和副題名）崔博華（作者姓名）指導(dǎo)教師姓名蘇樺教授鄧賢進(jìn)副研究員電子科技大學(xué)成都（職務(wù)、職稱、學(xué)位、單位名稱及地址）申請專業(yè)學(xué)位級別碩士專業(yè)名稱電子信息材料與元器件論文提交日期2012.04論文答辯日期2012.05學(xué)位授予單位和日期電子科技大學(xué)答辯委員會(huì)主席評閱人2012年月日注1：注明《國際十進(jìn)分類法UDC》的類號。摘要摘要太赫茲空間通信集成了微波通信與光通信的優(yōu)點(diǎn)

2、，具有體積小、高保密性、定位精確、高速率以及大容量等特點(diǎn)，有著廣闊的應(yīng)用前景，因此開展太赫茲通信研究具有非常重要的意義。在太赫茲通信的開發(fā)和利用中，離不開太赫茲功能器件的發(fā)展，而太赫茲濾波器作為通信系統(tǒng)中的重要無源器件，它的好壞直接影響了通信系統(tǒng)的總體指標(biāo)，其發(fā)展不容忽視。本文研究的主要內(nèi)容是太赫茲濾波器技術(shù)以及MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))工藝，在此基礎(chǔ)上研制應(yīng)用在太赫茲系統(tǒng)中的140GHz帶通濾波器，其主要研究內(nèi)容如下：1、介紹了濾波器

3、的基本理論和設(shè)計(jì)的原理，設(shè)計(jì)了三種方案的140GHz的太赫茲濾波器并對其進(jìn)行了討論確定了濾波器的結(jié)構(gòu)與技術(shù)路線，然后介紹了矩形波導(dǎo)濾波器的設(shè)計(jì)方法和過程。2、介紹了制作濾波器的工藝流程，并對每一步工藝進(jìn)行了分析與仿真。3、對濾波器進(jìn)行了第一次加工，對濾波器進(jìn)行測試以及電鏡掃描后改進(jìn)了制作工藝，進(jìn)行了第二次加工，經(jīng)測試濾波器達(dá)到了指標(biāo)要求。實(shí)測的濾波器指標(biāo)如下，中心頻率138GHz；通帶帶寬10GHz；矩形系數(shù)40dB3dB≤2；帶內(nèi)插損