基于MEMS工藝太赫茲倍頻器研究.pdf

1、近年來，太赫茲技術的高速發(fā)展帶來了太赫茲產(chǎn)業(yè)的繁榮，其中因為太赫茲倍頻器是太赫茲頻率源獲得的一個最重要途徑，所以，太赫茲倍頻器的研究對太赫茲技術的發(fā)展具有十分重要的意義。
　　本文介紹了太赫茲波的特點、倍頻器的國內(nèi)外發(fā)展動態(tài)及倍頻器的基本理論和分析方法；介紹了一種新型的加工工藝——ME MS工藝，該工藝的精度優(yōu)于傳統(tǒng)工藝，在實現(xiàn)高頻器件上具有獨特的優(yōu)勢。
　　本文從倍頻器的工作原理出發(fā)，采用ADS和HFS S仿真軟件，分別仿

2、真設計了K波段二倍頻器、W波段二倍頻器和290GHz的二倍頻器。
　　本文采用ATF36163晶體管對 K波段二倍頻器進行了設計，其結構由匹配電路、直流偏置與濾波電路組成。通過ADS仿真，得到的該倍頻器二次諧波的輸出功率為3.15dBm；采用傳統(tǒng)的加工工藝對其進行了加工，通過實測，其二次諧波的輸出功率達到了1.06dBm。
　　本文采用肖特基二極管對W波段二倍頻器進行了設計，該倍頻器的結構主要由波導腔體和石英基片屏蔽微帶線組

3、成。同時，波導微帶探針、偏置電路、濾波器、匹配電路分別安置在該微帶線相應位置。用ADS和HFS S仿真軟件對該倍頻器進行聯(lián)合仿真，得到的二次諧波輸出功率為1.402dBm。
　　在W波段倍頻器設計的基礎上，本文設計了290GHz太赫茲頻段二倍頻器，其結構與W波段二倍頻器相似。采用ADS和HFSS對其進行了聯(lián)合仿真，該倍頻器的二次諧波輸出功率達到了7.889dBm。
　　本文通過對不同頻段倍頻器的仿真設計或加工測試，驗證了本文