納米多孔銀、鈦材料的制備及應(yīng)用研究.pdf

1、伴隨著電子工業(yè)和信息產(chǎn)業(yè)的興起，尤其在微型機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)以及集成電路(ICs)的迅速發(fā)展，薄膜材料逐漸顯示出其重要性并得到了廣泛應(yīng)用。如今，薄膜材料的應(yīng)用已經(jīng)擴(kuò)展到科技和國民經(jīng)濟(jì)的多個(gè)領(lǐng)域，如航空航天、食品醫(yī)藥、能源、通信和信息等。在可預(yù)測(cè)的未來，薄膜材料將向著綜合、智能、環(huán)境友好以及納米化的方向發(fā)展，為現(xiàn)代科技的進(jìn)一步發(fā)展起到積極地促進(jìn)作用。與此同時(shí)，納米多孔材料作為近些年新興的研究領(lǐng)域，也在能源、催化、微電子設(shè)備等方面顯示出良

2、好的潛在價(jià)值?；诖?，本研究首先采用不同濺射方法制備了銀基金屬薄膜，研究了其結(jié)構(gòu)、形貌以及耐蝕性。而后將濺射鍍膜和脫合金工藝相結(jié)合獲得具有一定實(shí)用價(jià)值的納米多孔銀薄膜。此外，還制備了能用于超級(jí)電容器電極支撐材料的納米多孔鈦條帶。具體的研究?jī)?nèi)容如下:
　　1.通過X射線衍射(XRD)，掃描電鏡(SEM)，透射電鏡(TEM)等手段，對(duì)比觀察研究了離子束濺射與磁控共濺射所制備的AgCuCe薄膜的微觀形貌，發(fā)現(xiàn)相同成分下離子束濺射獲得的薄

3、膜表面更加平整致密。在不同溶液中測(cè)試了該金屬薄膜的耐腐蝕性，薄膜的腐蝕電位則通過測(cè)量其極化曲線獲得。
　　2.以磁控共濺射制備的AgMgCe薄膜作為前驅(qū)體，采用脫合金方法制備出孔隙率可調(diào)節(jié)的納米多孔銀薄膜，該薄膜是一類具有特殊結(jié)構(gòu)和功能的納米材料，在保留良好導(dǎo)電能力的同時(shí)具有較大的比表面積，更多的活性位點(diǎn)，使其在催化、能量存儲(chǔ)及生物傳感器等領(lǐng)域具有潛在應(yīng)用價(jià)值。過氧化氫是工業(yè)生產(chǎn)中的一種重要的小分子物質(zhì)，但是超標(biāo)使用將會(huì)對(duì)人體的健

4、康產(chǎn)生不良影響。因此，如何準(zhǔn)確、快速地檢測(cè)過氧化氫濃度具有重要意義。我們將納米多孔銀薄膜作為傳感器，研究了其對(duì)過氧化氫濃度的探測(cè)能力，實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)薄膜產(chǎn)生的信號(hào)強(qiáng)度和過氧化氫濃度之間具有良好的線性對(duì)應(yīng)關(guān)系。
　　3.通過真空甩帶法制備出Cu-Ti薄帶，而后采用電化學(xué)腐蝕的方法得到納米洞孔鈦，接著利用電化學(xué)的方法將錳的氧化物沉積到納米多孔條帶上，形成MnO2/納米多孔鈦復(fù)合材料。該材料以納米多孔鈦為結(jié)構(gòu)支撐，由過渡金屬錳的氧化物提供高的