封裝材料氣體滲透率的質(zhì)譜法測量.pdf

1、有機電致發(fā)光二極管（OLED），因其具有作為顯示器的主動發(fā)光、視角范圍大、響應(yīng)速度快、色彩豐富、分辨率高、輕薄、低功耗等眾多優(yōu)點，在顯示領(lǐng)域被得到廣泛的應(yīng)用，成為繼液晶顯示（LCD）后的新一代最具發(fā)展?jié)摿Φ钠桨屣@示器。OLED要發(fā)揮其顯示界的主力軍作用必須實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，但目前 OLED產(chǎn)業(yè)化存在很多問題，主要問題之一就是壽命達不到要求。由OLED的失效機理可知，影響OLED器件壽命和穩(wěn)定性的主要問題在于水蒸氣和氧氣對OLED有機發(fā)光層的破

2、壞，而 OLED器件中的水蒸氣和氧氣，主要是器件外大氣中的水蒸氣和氧氣通過器件封裝材料滲透進入器件的。因此，要使 OLED器件的使用壽命達到商業(yè)化要求，一方面需研制穩(wěn)定性好的有機發(fā)光材料，另一個重要方面就是研究封裝材料對水、氧等活性氣體的阻隔性。為此，我們做了以下研究：
　?。?）針對壽命短的問題對OLED器件的失效機理進行了詳細地分析，闡述了研究封裝材料對水、氧氣等活性氣體阻隔能力的重要性。查閱大量滲透率測量相關(guān)文獻，對國內(nèi)外現(xiàn)

3、有的常用測量方法進行了簡單介紹，并對各種方法的測量特點進行了闡述。
　?。?）對氣體滲透理論和質(zhì)譜法測量氣體滲透率的相關(guān)真空技術(shù)理論進行了詳細的闡述，對實驗系統(tǒng)核心結(jié)構(gòu)（四極質(zhì)譜儀）的原理和工作特性進行了分析研究。
　　（3）搭建質(zhì)譜法測量實驗系統(tǒng)，用動態(tài)抽除式進樣質(zhì)譜法測量材料氣體滲透率的測量方法，對PET薄膜和現(xiàn)在OLED封裝中常用的UV膠薄膜進行了氧氣和水蒸氣滲透率測量，分析其對水氧氣的阻隔性能，并為后續(xù)的靜態(tài)法測量結(jié)

4、果準確性提供參考數(shù)據(jù)。
　　（4）在動態(tài)質(zhì)譜法測量系統(tǒng)的基礎(chǔ)上進行改進，建立了靜態(tài)積累式進樣質(zhì)譜法測量氣體滲透率的實驗系統(tǒng)，對其數(shù)據(jù)采集和計算方法、關(guān)鍵因素進行探究，利用該系統(tǒng)測量PET薄膜水蒸氣和氧氣滲透率，與靜態(tài)法測量結(jié)果進行對比，以驗證靜態(tài)積累法測量和數(shù)據(jù)采集計算的可靠性。
　?。?）利用靜態(tài)積累式進樣質(zhì)譜法測量系統(tǒng)測量可用于柔性O(shè)LED封裝的高阻隔材料云母薄膜的水蒸氣滲透率。由于云母薄膜阻隔性很好，積累室本底放氣量相

5、對滲透量大的多，為準確區(qū)分本底放氣量和滲透量，實驗利用同位素重水代替普通水測量水蒸氣對云母薄膜的滲透率，測得50μm厚云母薄膜重水蒸氣滲透率為2.3×10-5g/(m2·day)。
　?。?）用靜態(tài)積累式進樣質(zhì)譜法測量PET薄膜重水產(chǎn)生的水蒸氣的滲透率，與普通水產(chǎn)生的水蒸氣滲透率對比，確定重水代替普通水測量的可靠性，結(jié)果為2.35g/(m2·day)，與普通水蒸氣測量結(jié)果基本一致。
　?。?）對改進后的系統(tǒng)重新進行了極限靈敏