封裝材料氣體滲透率的質(zhì)譜法測(cè)量.pdf

1、有機(jī)電致發(fā)光二極管（OLED），因其具有作為顯示器的主動(dòng)發(fā)光、視角范圍大、響應(yīng)速度快、色彩豐富、分辨率高、輕薄、低功耗等眾多優(yōu)點(diǎn)，在顯示領(lǐng)域被得到廣泛的應(yīng)用，成為繼液晶顯示（LCD）后的新一代最具發(fā)展?jié)摿Φ钠桨屣@示器。OLED要發(fā)揮其顯示界的主力軍作用必須實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，但目前 OLED產(chǎn)業(yè)化存在很多問題，主要問題之一就是壽命達(dá)不到要求。由OLED的失效機(jī)理可知，影響OLED器件壽命和穩(wěn)定性的主要問題在于水蒸氣和氧氣對(duì)OLED有機(jī)發(fā)光層的破

2、壞，而 OLED器件中的水蒸氣和氧氣，主要是器件外大氣中的水蒸氣和氧氣通過器件封裝材料滲透進(jìn)入器件的。因此，要使 OLED器件的使用壽命達(dá)到商業(yè)化要求，一方面需研制穩(wěn)定性好的有機(jī)發(fā)光材料，另一個(gè)重要方面就是研究封裝材料對(duì)水、氧等活性氣體的阻隔性。為此，我們做了以下研究：
　?。?）針對(duì)壽命短的問題對(duì)OLED器件的失效機(jī)理進(jìn)行了詳細(xì)地分析，闡述了研究封裝材料對(duì)水、氧氣等活性氣體阻隔能力的重要性。查閱大量滲透率測(cè)量相關(guān)文獻(xiàn)，對(duì)國內(nèi)外現(xiàn)

3、有的常用測(cè)量方法進(jìn)行了簡(jiǎn)單介紹，并對(duì)各種方法的測(cè)量特點(diǎn)進(jìn)行了闡述。
　?。?）對(duì)氣體滲透理論和質(zhì)譜法測(cè)量氣體滲透率的相關(guān)真空技術(shù)理論進(jìn)行了詳細(xì)的闡述，對(duì)實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)核心結(jié)構(gòu)（四極質(zhì)譜儀）的原理和工作特性進(jìn)行了分析研究。
　　（3）搭建質(zhì)譜法測(cè)量實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)，用動(dòng)態(tài)抽除式進(jìn)樣質(zhì)譜法測(cè)量材料氣體滲透率的測(cè)量方法，對(duì)PET薄膜和現(xiàn)在OLED封裝中常用的UV膠薄膜進(jìn)行了氧氣和水蒸氣滲透率測(cè)量，分析其對(duì)水氧氣的阻隔性能，并為后續(xù)的靜態(tài)法測(cè)量結(jié)

4、果準(zhǔn)確性提供參考數(shù)據(jù)。
　?。?）在動(dòng)態(tài)質(zhì)譜法測(cè)量系統(tǒng)的基礎(chǔ)上進(jìn)行改進(jìn)，建立了靜態(tài)積累式進(jìn)樣質(zhì)譜法測(cè)量氣體滲透率的實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)，對(duì)其數(shù)據(jù)采集和計(jì)算方法、關(guān)鍵因素進(jìn)行探究，利用該系統(tǒng)測(cè)量PET薄膜水蒸氣和氧氣滲透率，與靜態(tài)法測(cè)量結(jié)果進(jìn)行對(duì)比，以驗(yàn)證靜態(tài)積累法測(cè)量和數(shù)據(jù)采集計(jì)算的可靠性。
　?。?）利用靜態(tài)積累式進(jìn)樣質(zhì)譜法測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量可用于柔性O(shè)LED封裝的高阻隔材料云母薄膜的水蒸氣滲透率。由于云母薄膜阻隔性很好，積累室本底放氣量相

5、對(duì)滲透量大的多，為準(zhǔn)確區(qū)分本底放氣量和滲透量，實(shí)驗(yàn)利用同位素重水代替普通水測(cè)量水蒸氣對(duì)云母薄膜的滲透率，測(cè)得50μm厚云母薄膜重水蒸氣滲透率為2.3×10-5g/(m2·day)。
　　（6）用靜態(tài)積累式進(jìn)樣質(zhì)譜法測(cè)量PET薄膜重水產(chǎn)生的水蒸氣的滲透率，與普通水產(chǎn)生的水蒸氣滲透率對(duì)比，確定重水代替普通水測(cè)量的可靠性，結(jié)果為2.35g/(m2·day)，與普通水蒸氣測(cè)量結(jié)果基本一致。
　?。?）對(duì)改進(jìn)后的系統(tǒng)重新進(jìn)行了極限靈敏