小孔自動測量儀及其應(yīng)用技術(shù)研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、天津大學碩士學位論文小孔自動測量儀及其應(yīng)用技術(shù)研究姓名：詹麗君申請學位級別：碩士專業(yè)：儀器科學與技術(shù)指導教師：王寶光201112ABSTRACTAperturemeasuringisanimportantanddifficultpartofgeometryparametermeasurementAtpresent，theresolutionratiooftheexternalandplanedimensionhasbeenreached

2、lnmevenO1nmHoweverinsidedimensionmeasuringlaggedfarbehind。Highprecisionmeasurementforanycrosssectionandshapeerrorofpinhole，inclinedpinholeandblindholeisexigenttobesolvedinmicroinsidedimensionfieldBasedonthissituation，thi

3、spaperproposesacapacitivenon—contactmeasurementmethodbyinvestigatingmanysmallaperturemeasurementmethodsindomestiCandonabroadAhigh—precisioninsidediameterautomaticmeasuringsystemforsmallaperture(thediameterofthroughhole，b

4、lindhole，deepholeandinclinedholeislessthan妒lOmm)，biglength—diameterratio(itcanreach1020)andits’anycrosssectionmeasurementThissystemcanefficientlysolvecoaxialimpedancetraceableproblemaswellastherealaperturemeasuringproble

5、mofpinholeandinclinedpinholeAneWcylindricalcapacitiveaperturesensorisdevelopedinthissystemusingmuchkeytechnology：EdgeeffectisremovedbyguardringtechnologyNonlinearityofthesensorissurmountedbyoperationalamplifierTheeffecto

6、fparasiticcapacitanceisdecreasedbydrivingcabletechnologyAcompletemeasuringprocedureISproposedandtheautomaticmeasuringsystemisbuiltaccordingtothemeasuringprincipleofnoncontactaperturecapacitivesensorAccuratecenteringbetwe

7、enaperturesensorandmeasuredholeisrealizedbyusingCCDvisionandXYmicro。movingplatformMeanwhileaccuratepositioningisrealizedbyreasonablyselectinggratingencoderandsteppingmotorAutomaticmeasuringsoftwareisdevelopedwiththetoolV

8、C60ModulardesignconceptisadoptedinsoitwaredesigntorealizecompleteautomaticmeasurementAccordingtomeasuringparameterandpreclSlonrequirements，themeasuringprincipleofinclinedpinholeisanalyzedandmeasuringprojectisimprovedbase

9、donexistingsystemCalibrationandmeasurementschemearedescribedinthispaperDifferentspecificationsofaperturemeasuringsensorarecalibratedusing矽185mm，≯24mm，≯292mm，矽35mmand≯7mmstandarddiameterringSamplemeasuringexperimentiscarr

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