單晶硅納米級切削過程的分子動力學(xué)仿真研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、在超精密加工中,特別是進行納米級加工時,材料以離散的數(shù)個原子或原子層的方式去除,加工過程中材料的去除,已加工表面的形成等都與常規(guī)加工存在著巨大差異,采用建立在傳統(tǒng)連續(xù)介質(zhì)力學(xué)基礎(chǔ)上的切削理論來解釋顯然是不合適的,并且難于應(yīng)用實驗進行觀察和測量。而分子動力學(xué)仿真是在理論上研究超精密加工過程的一種非常有效的方法,提供了一種從微觀領(lǐng)域探索宏觀特性的途徑。
  將刀具設(shè)為非剛體,以Debye模型為動能和溫度之間的轉(zhuǎn)化模型,建立了單晶硅納米

2、級切削的分子動力學(xué)模型,對切削過程進行了仿真。從切削過程中瞬間原子位置、切削力、硅原子間勢能、切削溫度等角度分析了切削加工機理,結(jié)果表明:切削刃前下方的變形原子不斷延伸與擴展,與已加工表層斷裂的原子鍵結(jié)合,形成已加工表面變質(zhì)層,而切削刃前方的變形原子受到擠壓和剪切作用,堆積在刀具的前方,形成了切屑。刀尖附近有少量的原子位錯產(chǎn)生。對刀具刀尖附近不同位置的原子進行了溫度和力的計算,發(fā)現(xiàn)后刀面原子溫度最高,前刀面原子受力最大,切削中刀具溫度在

3、某一值附近上下波動。
  應(yīng)用分子動力學(xué)仿真研究了切削厚度、切削速度和切削刃鈍圓半徑對切削過程的影響,研究表明:切削厚度增加,切削力、硅原子間勢能和切削溫度都增加。切削速度增加,硅原子間勢能和切削溫度增大,切削力減小。鈍圓半徑增加,切削力、硅原子間勢能和切削溫度都減小。分別采用Morse勢和Tersoff勢計算C-Si原子間的相互作用,研究了不同勢函數(shù)對切削過程分析結(jié)果的影響。
  對點缺陷的單晶硅納米級切削過程進行了仿真,

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