單晶硅納米加工仿真及實(shí)驗(yàn)研究.pdf_第1頁(yè)
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1、碩士學(xué)位論文碩士學(xué)位論文單晶硅納米加工仿真及實(shí)驗(yàn)研究SIMULATIONEXPERIMENTALSTUDYONNANOMACHININGOFMONOCRYSTALSILICON于楠于楠哈爾濱工業(yè)大學(xué)哈爾濱工業(yè)大學(xué)2013年7月ClassifiedIndex:TG580.6U.D.C:621DissertationftheMasterDegreeinEngineeringSIMULATIONEXPERIMENTALSTUDYONNANOM

2、ACHININGOFMONOCRYSTALSILICONCidate：YuNanSupervis：Prof.LiangYingchunAcademicDegreeAppliedf：MasterofEngineeringSpeciality：MechanicalManufacturingAutomationAffiliation：SchoolofMechatronicsEngineeringDateofDefence：July，2013D

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