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1、高壓快恢復(fù)二極管是功率器件的重要組成部分,其廣泛應(yīng)用于開關(guān)電源、脈寬調(diào)制器(PWM)、不間斷電源(UPS)、交流電動機變頻調(diào)速(VVVF)、高頻加熱等裝置,它的性能優(yōu)劣程度直接影響著整個電路系統(tǒng)的競爭力。傳統(tǒng)快恢復(fù)二極管一般是采用肖特基結(jié)構(gòu)或者是采用PIN(P-i-N)二極管摻雜重金屬進行少子壽命控制而得。單一的肖特基結(jié)構(gòu)具有耐壓小、漏電大的缺點,故其一般不能作為高壓快恢復(fù)二極管來使用,而PIN二極管摻雜重金屬制作二極管可能造成工藝線污
2、染。
本文首先分析超結(jié)二極管原理,詳細分析了普通PIN二極管反向恢復(fù)過程并提出了一些解決方案,最終采用超結(jié)MPS(Merged PIN/Schottky)結(jié)構(gòu)作為本論文的方案,對所要設(shè)計的超結(jié)快恢復(fù)二極管進行理論推導(dǎo),得出基本結(jié)構(gòu)參數(shù),同時分析超結(jié)MPS結(jié)構(gòu)的各個關(guān)鍵參數(shù)特性的影響因素,包括擊穿電壓、正向電流、漏電及反向恢復(fù)特性,并進行了詳細的模擬驗證。最后,基于以上理論分析及理論基本參數(shù),結(jié)合TCAD軟件仿真得到超結(jié)快恢復(fù)二
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