基于數(shù)字散斑剪切干涉術(shù)的三維面型測(cè)試.pdf_第1頁(yè)
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文檔簡(jiǎn)介

1、數(shù)字散斑剪切干涉術(shù)是起源于散斑干涉且應(yīng)用廣泛的干涉檢測(cè)方法，將數(shù)字圖像處理和散斑剪切干涉術(shù)結(jié)合在一起，測(cè)量精度能達(dá)到幾十納米，可檢測(cè)復(fù)雜物體的面型。
　　本文探究了基于數(shù)字散斑剪切干涉術(shù)的物體面型的三維測(cè)試技術(shù)。實(shí)驗(yàn)采用泰曼-格林光路系統(tǒng)，通過(guò)旋轉(zhuǎn)反射鏡的方法，使物光束散斑場(chǎng)發(fā)生偏轉(zhuǎn)，再由CCD記錄偏轉(zhuǎn)前、后物光束和參考光束的干涉場(chǎng)。存儲(chǔ)到計(jì)算機(jī)中，對(duì)采集到的散斑干涉圖用MATLAB軟件進(jìn)行相減運(yùn)算，得到物體面型的散斑剪切干涉條紋

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