應用于MEMS的模擬CMOS低通濾波器的設計與實現(xiàn).pdf

1、隨著超大規(guī)模集成電路（VLSI）技術的發(fā)展，人們越來越關注電子系統(tǒng)中大元件的集成化，其中濾波器是非常重要的一個模塊。在理論分析的基礎上，論文結合了現(xiàn)在技術較成熟、功耗較低、集成度較高的CMOS工藝技術，利用常用的基本開關模塊，用連續(xù)時間模型等效分析離散域的方法來分析和實現(xiàn)了開關電容濾波器。
　　本文首先回顧了集成電路以及MEMS的國內(nèi)外研究現(xiàn)狀和理論背景，介紹了本論文的主要工作以及本課題的意義、熱點和難點。
　　在第二章對各

2、種類型的濾波電路進行了介紹并進行了時域、頻域方面的分析；對它們的優(yōu)缺點以及應用的范圍都進行了詳細的闡述，為后面的電路設計打下了理論基礎。
　　對于濾波器中最重要的運算放大器模塊的設計，本文提出了一種高增益、高擺幅、低功耗的改進型AB類運算放大器的設計。在進行電路信號特性詳細分析的基礎上，給出了仿真分析結果。
　　采用美國JAZZ0.6um Bi-CMOS工藝設計了一種應用于MEMS傳感器的高線性度、低功耗全差分四階貝塞爾開關

3、電容濾波器。該濾波器的運算放大器為輸出AB類運算放大器，通過AB類運算放大器以及開關電容共模反饋的設計，降低了功耗；在運算放大器中設計了線性跨導環(huán)，并通過對電路的拓撲結構進行優(yōu)化，提高了濾波器的線性度。
　　仿真結果表明，在采樣頻率為1MHZ下，該濾波器的截止頻率為10KHZ。在輸入信號為1KHZ，擺幅為2V時，THD為-81.3dB，功耗為5.54mW，達到了高線性度，低功耗的設計要求。
　　最后，論文對本文所做的工作進行