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文檔簡介
1、本論文主要研究針對?；房扇夹詺怏w檢測設(shè)計的微結(jié)構(gòu)氣體傳感器。目前生產(chǎn)的催化燃燒式氣體傳感器采用傳統(tǒng)手工繞線、涂覆工藝,生產(chǎn)的器件存在一致性差、匹配性不好的缺點。本論文通過MEMS技術(shù)和平面金屬薄膜技術(shù)完成催化燃燒式氣體傳感器制作,主要研究計算機有限元結(jié)構(gòu)設(shè)計、氣體敏感材料合成、摻雜修飾改性技術(shù)、微加工工藝、測試系統(tǒng)的研究及傳感器性能測試等內(nèi)容。
本論文首先從傳感器的關(guān)鍵部件——微熱板結(jié)構(gòu)設(shè)計進(jìn)行研究,對傳感器進(jìn)行材料優(yōu)化
2、選擇,確定微熱板材料厚度及電極圖形結(jié)構(gòu)尺寸,實現(xiàn)降低器件功耗的目的。其次,利用有限元熱電耦合分析微結(jié)構(gòu)氣體傳感器及帶有引線的情況,并對微熱板的加熱電壓與熱場分布進(jìn)行仿真。
搭建傳感器測試系統(tǒng),室溫工作狀態(tài)下,系統(tǒng)研究微結(jié)構(gòu)氣體傳感器的性能及數(shù)據(jù)處理。試驗結(jié)果表明,煤油氣體傳感器的最佳測試范圍為0～2000ppm,傳感器的遲滯為0.93％F·S,重復(fù)性為2.06％F·S,線性度為4.08％F·S,準(zhǔn)確度為4.66％F·S。<
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