版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進(jìn)行舉報或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡介
1、諧振式氣體傳感器是一種將氣體的種類和濃度轉(zhuǎn)換為可測電信號的裝置。諧振式氣體傳感器具有高靈敏性,較好的選擇性和重復(fù)性,以及響應(yīng)時間很短等特點(diǎn)。諧振式氣體傳感器的物理尺寸越小,其靈敏度越高。但是,由于加工工藝和檢測技術(shù)的條件影響,諧振式氣體傳感器的納米化受到了很大的制約。本文提出了一種新型機(jī)電集成諧振式傳感器,通過在一般微米傳感器上添加180度反饋進(jìn)行閉環(huán)調(diào)節(jié),在不減小尺寸的情況下提高了微米梁傳感器的靈敏度。本文著重分析了集成微米傳感器的瞬
2、時頻率響應(yīng)和靈敏度特性,并對集成微米傳感器進(jìn)行了閉環(huán)實(shí)驗(yàn)。
本文首先建立了懸臂梁機(jī)械、化學(xué)和分子力三場耦合動力學(xué)模型,求出了懸臂梁傳感器的固有頻率和瞬時頻率表達(dá)式,分別對微米和納米懸臂梁諧振傳感器的振動特性進(jìn)行了研究。
然后,建立了添加180度反饋的機(jī)電集成懸臂梁諧振式傳感器振動模型,求出了機(jī)電集成懸臂梁振動的瞬時頻率和靈敏度表達(dá)式,并對比分析了微米梁、集成微米梁和納米梁傳感器的振動特性。
在外部熱激勵條件
3、下,建立了懸臂梁傳感器的雙層梁動力學(xué)模型,求出了雙層梁在熱激勵情況下的固有頻率和瞬時頻率。在不同分子力狀態(tài)下,分別對集成微米梁和納米梁振動進(jìn)行了瞬時頻率響應(yīng)分析和靈敏度響應(yīng)分析。
最后,依據(jù)現(xiàn)有的實(shí)驗(yàn)條件,設(shè)計出合理的微懸臂梁制作方案,利用MEMS加工技術(shù)加工出高精度的諧振元件。在原有的測試系統(tǒng)上設(shè)計出微諧振傳感器180度反饋調(diào)控模塊,進(jìn)行了集成諧振傳感器掃頻測試和閉環(huán)180度反饋實(shí)驗(yàn)。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:機(jī)電集成微米傳感器靈敏度得
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 微型諧振氣體傳感器動態(tài)多場耦合特性分析.pdf
- 微型薄膜氣體傳感器研究.pdf
- 微型氣體流量傳感器關(guān)鍵工藝研究.pdf
- 微型諧振傳感器反饋測量系統(tǒng)研究.pdf
- 集成薄膜型氣體傳感器的研究.pdf
- 微型紅外光聲氣體傳感器的研究.pdf
- 基于MEMS的硅梁諧振式氣體傳感器研制.pdf
- 微型熱式氣體流量傳感器的穩(wěn)態(tài)傳熱研究.pdf
- 諧振腔聲氣體傳感器的電路建模與仿真.pdf
- 針對氣體傳感器陣列的集成分類算法研究.pdf
- 微型光纖傳感器的研究.pdf
- 無線傳感器網(wǎng)絡(luò)微型多傳感器系統(tǒng)研制.pdf
- 小型化的諧振式紅外光聲氣體傳感器.pdf
- MEMS諧振式電荷傳感器.pdf
- 微型PDMS SPR傳感器研究.pdf
- 一種新型集成靜電場微型傳感器的研究.pdf
- 集成微流道的體波諧振液相傳感器研究.pdf
- 新型氣體傳感器的研究.pdf
- 新型MEMS氣體傳感器研究.pdf
- 諧振式液位傳感器的研究.pdf
評論
0/150
提交評論