版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進行舉報或認領(lǐng)
文檔簡介
1、現(xiàn)階段在微納研究領(lǐng)域中,對于微小力(10-8~10-4N)的測量與溯源尚未形成統(tǒng)一的方案,然而在材料科學、電力電子、航空、微納制造等多個領(lǐng)域,微納力值得到了普遍的應用,因此迫切需要形成統(tǒng)一的測量與溯源標準以提升相關(guān)領(lǐng)域中的關(guān)鍵技術(shù)。
本文在總結(jié)了前人工作的基礎(chǔ)上,完成了對基于靜電力原理的微小力測量系統(tǒng)的研究,本文研究的主要內(nèi)容及完成的工作如下:
1、分析了微納力值測量標準建立的意義,詳述了國內(nèi)外研究現(xiàn)狀和實驗室的前期
2、研究成果。
2、介紹了測量系統(tǒng)的工作原理—靜電力原理,以及測量系統(tǒng)中的各個功能模塊。
3、由于測量系統(tǒng)測量的量程及精度主要是由彈性元件來決定,設(shè)計了平行四邊形鉸鏈作為系統(tǒng)的力值敏感元件,并對其進行了靜力學和動力學分析,為了降低蠕變對測量精度的影響,設(shè)計了差動式鉸鏈方案作為最終的力值敏感結(jié)構(gòu)。設(shè)計了帶自重平衡的柔性鉸鏈,可降低電極長期懸掛及鉸鏈自重造成的蠕變,為了探索更小量級的力值測量,設(shè)計了簧片式彈性支撐。
3、 4、改進了基于雙目視覺的內(nèi)外電極同軸度測量與調(diào)整系統(tǒng),設(shè)計了亞像素級的圖像處理算法,配合電控調(diào)整平臺能達到偏軸調(diào)整精度5μm,偏角調(diào)整精度0.030°,該方案理論上可使電容梯度的相對不確定度小于萬分之一。設(shè)計了電容梯度標定方案,電容梯度標定的相對標準不確定度低于千分之一。
5、完成了測量系統(tǒng)的裝置搭建,以及測量系統(tǒng)中重要元器件的選型,編寫了用于微力測量的整套軟件。
6、進行了電容器同軸度測量與姿態(tài)調(diào)整實驗、電容梯度
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預覽,若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負責。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 杠桿式微小力值測量與溯源方法研究.pdf
- 微小力值測量及溯源理論與方法研究.pdf
- 基于靜電場原理微納力值測量與標準傳遞技術(shù)研究.pdf
- 交流可擴展的微電阻測量系統(tǒng)設(shè)計.pdf
- 超微力測量方案的探索實驗研究.pdf
- 微納深溝槽結(jié)構(gòu)測量系統(tǒng)研究.pdf
- 微推力測量實驗裝置的設(shè)計與研究.pdf
- 超聲微-納操控系統(tǒng)的設(shè)計與應用.pdf
- 可重構(gòu)精密微加工系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計與實驗研究.pdf
- 測量系統(tǒng)精度損失溯源與預測模型研究.pdf
- 球膜光學微納牛力傳感檢測系統(tǒng)設(shè)計及試驗研究.pdf
- 仿蝴蝶翅膀微納結(jié)構(gòu)的優(yōu)化設(shè)計.pdf
- 基于誤差分解與溯源的動態(tài)精度實驗系統(tǒng)設(shè)計.pdf
- 納秒脈沖激光微加工系統(tǒng)的設(shè)計與研究.pdf
- 彈載微慣性測量單元減振系統(tǒng)的設(shè)計與優(yōu)化.pdf
- 位錯與微裂紋的納觀實驗力學研究.pdf
- 微納加工過程中微納結(jié)構(gòu)高度的光學測量方法研究.pdf
- 高壓微射流制備微納乳劑的實驗與數(shù)值模擬研究.pdf
- 集值映射的上導數(shù)及向量優(yōu)化問題的可微性研究.pdf
- 錐形微納光纖傳感系統(tǒng)的設(shè)計與傳感特性研究.pdf
評論
0/150
提交評論