容柵傳感器機(jī)理研究及其測(cè)量系統(tǒng)構(gòu)建.pdf

1、容柵位移傳感器以其優(yōu)異的性能和低廉的價(jià)格，在測(cè)量領(lǐng)域中占據(jù)了十分重要的位置。容柵傳感器于上個(gè)世紀(jì)80年代正式進(jìn)入我國(guó)。到目前為止，已經(jīng)歷了大約30年的發(fā)展。然而，國(guó)產(chǎn)化的容柵產(chǎn)品在性能指標(biāo)上仍然很難與國(guó)外產(chǎn)品相抗衡。并且，由于在實(shí)現(xiàn)的技術(shù)路線與思路上沿襲國(guó)外成型產(chǎn)品，在一定程度上導(dǎo)致了產(chǎn)品性能的滯后，限制了創(chuàng)新進(jìn)步。
　　 鑒于此，本論文首先從容柵傳感器的測(cè)量原理入手，通過(guò)基礎(chǔ)研究，在合理近似的條件下建立傳感器的數(shù)學(xué)模型，重新計(jì)

2、算評(píng)估了鑒相型容柵位移傳感器的測(cè)量依據(jù)，即為何本文研究的傳感器為相位敏感型。然后，再通過(guò)分析得到的傳感器調(diào)制輸出通式，分析了傳感器調(diào)制輸出的原理性誤差所在，并以工程處理的角度，給出了一個(gè)可行的抑制傳感器原理性誤差的方案。通過(guò)計(jì)算，得到了動(dòng)?xùn)派习l(fā)射極板與定柵上反射極板的最佳比值。根據(jù)得到的最佳比值，優(yōu)化設(shè)計(jì)了完全符合比值的全新傳感器本體結(jié)構(gòu)，并進(jìn)一步給出了一個(gè)結(jié)構(gòu)更為緊湊，也更為實(shí)用的改進(jìn)方案。仿真驗(yàn)證了所提出傳感器結(jié)構(gòu)對(duì)原理性誤差抑制的