超硬微結(jié)構(gòu)光學表面振動輔助拋光工藝研究.pdf_第1頁
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1、碩士學位論文碩士學位論文超硬微結(jié)構(gòu)光學表面振動輔助拋光工藝研究ULTRASONICASSISTEDCHEMICALMECHANICALPOLISHINGOFSUPERHARDMICROSTRUCTUREDOPTICALSURFACE武昌壕武昌壕哈爾濱工業(yè)大學哈爾濱工業(yè)大學2013年7月ClassifiedIndex:TH161.1U.D.C:621DissertationftheMasterDegreeinEngineeringULTR

2、ASONICASSISTEDCHEMICALMECHANICALPOLISHINGOFSUPERHARDMICROSTRUCTUREDOPTICALSURFACECidate：WuChanghaoSupervis：Prof.ZhaoQingliangAcademicDegreeAppliedf：MasterofEngineeringSpeciality：MechanicalManufacturingAutomationAffiliati

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