圓柱表面微結(jié)構(gòu)超精密加工關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf

1、具有各種形式微結(jié)構(gòu)的光學(xué)薄膜在液晶顯示、LED照明、光學(xué)儀器等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛，市場(chǎng)需求巨大。輥?zhàn)邮俏⒔Y(jié)構(gòu)光學(xué)薄膜模壓制造的核心零件。在輥?zhàn)由霞庸こ龈哔|(zhì)量的光學(xué)微結(jié)構(gòu)，如微球面陣列、菲涅爾結(jié)構(gòu)陣列、棱鏡陣列、金字塔陣列等，是光學(xué)薄膜制造的關(guān)鍵。輥?zhàn)訄A柱表面的微結(jié)構(gòu)復(fù)雜，形狀精度、表面粗糙度要求也極高，使得其加工制造成為難點(diǎn)，超精密車(chē)削成形是一種高效加工方式。然而，車(chē)削加工的可達(dá)性、海量微結(jié)構(gòu)表面加工的一致性、伺服刀具動(dòng)態(tài)特性的制約等方面是輥

2、子微結(jié)構(gòu)超精密加工需關(guān)注的關(guān)鍵問(wèn)題。圓柱面微結(jié)構(gòu)的加工不同于端面，其刀具路徑為等直徑的螺旋線。柱面是封閉曲面，微結(jié)構(gòu)陣列由柱面到平面的展成方法、微結(jié)構(gòu)單元沿圓周方向的銜接也成為技術(shù)難點(diǎn)。
　　本文以圓柱表面微結(jié)構(gòu)陣列加工為研究對(duì)象，在理論層面探討了微結(jié)構(gòu)陣列的統(tǒng)一表達(dá)形式，從刀具幾何形狀、伺服刀具動(dòng)態(tài)特性制約等方面入手研究了微結(jié)構(gòu)陣列的可加工性，建立了圓柱面微結(jié)構(gòu)陣列車(chē)削加工的實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)，并對(duì)典型柱面微結(jié)構(gòu)進(jìn)行了加工實(shí)驗(yàn)。論文主要內(nèi)

3、容如下：
　　1、研究了微結(jié)構(gòu)陣列的統(tǒng)一表征方法。采用經(jīng)典拓?fù)浔磉_(dá)模型描述微結(jié)構(gòu)陣列單元之間的拓?fù)潢P(guān)系，在此基礎(chǔ)上結(jié)合內(nèi)部-邊界-外部的方向關(guān)系以及距離關(guān)系，形成了任意形式微結(jié)構(gòu)陣列空間關(guān)系的統(tǒng)一表達(dá)模型。對(duì)具有方程描述且形式簡(jiǎn)單的微結(jié)構(gòu)陣列，采取了用矢量空間拓?fù)潢P(guān)系組合模型進(jìn)行表達(dá)的方法。研究統(tǒng)一表達(dá)模型有助于規(guī)范設(shè)計(jì)過(guò)程、簡(jiǎn)化加工程序設(shè)計(jì)。
　　2、探討了圓柱表面微結(jié)構(gòu)可加工性的制約規(guī)律。首先，從不發(fā)生幾何干涉的角度，具

4、體研究了金剛石刀具幾何尺寸與微結(jié)構(gòu)特征尺寸之間的制約關(guān)系，得到了刀具參數(shù)的設(shè)計(jì)依據(jù)；其次，從伺服刀具頻域響應(yīng)的角度，研究了伺服刀具動(dòng)態(tài)性能與微結(jié)構(gòu)陣列之間的制約關(guān)系，研究表明輸入信號(hào)除基頻外的頻率成分對(duì)加工也可能會(huì)有一定影響；最后，綜合考慮刀具幾何尺寸、伺服刀具動(dòng)態(tài)特性、機(jī)床性能等，形成了單因素或多因素耦合的微結(jié)構(gòu)可加工性制約曲面，從而為工藝參數(shù)的選定提供指導(dǎo)。
　　3、研究了微結(jié)構(gòu)切深數(shù)據(jù)的生成算法。推導(dǎo)了適用于柱面微結(jié)構(gòu)的刀具

5、半徑補(bǔ)償算法，應(yīng)用了最小二乘曲面擬合的方法進(jìn)行離散數(shù)據(jù)的曲面擬合。得到了可用于離散數(shù)據(jù)的雙線性插值算法，并以口徑較小、深度較大的球面微結(jié)構(gòu)為例進(jìn)行檢驗(yàn)。結(jié)果表明這種插值方法計(jì)算簡(jiǎn)單，誤差較小。結(jié)合刀具半徑補(bǔ)償和數(shù)據(jù)插值解決了切深數(shù)據(jù)生成算法的編程問(wèn)題。
　　4、分析了影響微結(jié)構(gòu)陣列加工精度的誤差源，研究了加工精度的評(píng)價(jià)方法。分別分析了圓柱直徑測(cè)量誤差、刀具高度調(diào)整誤差、刀具過(guò)切這三者對(duì)單個(gè)微結(jié)構(gòu)輪廓精度的影響，得到了其中的影響規(guī)律