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文檔簡介
1、在空間光通信中，光學(xué)系統(tǒng)起著非常重要的作用，光學(xué)薄膜已成為光學(xué)元件的關(guān)鍵技術(shù)。與此同時，制備出滿足要求的光學(xué)薄膜顯得尤為重要。本文針對532nm、808nm、1064nm、1550nm激光工作的四個波段，選擇Ti3O5和SiO2作為高低折射率材料，借助于膜系設(shè)計軟件，采用電子束蒸發(fā)和離子輔助沉積的方法設(shè)計并制備了激光濾光膜。鍍膜后的基片在808nm處的透過率在90％以上，532nm、1064nm、1550nm的反射率也均大于99％，重點
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