金屬氧化物氣敏傳感器的穩(wěn)定性與一致性研究.pdf

1、作為從氣體理化參數(shù)到電子信號轉(zhuǎn)換設(shè)備的氣敏傳感器，如今越來越受到重視。但作為氣敏傳感器最重要的兩個性能：穩(wěn)定性與一致性，在目前的研究中，穩(wěn)定性的研究相對較少，數(shù)據(jù)較為缺乏，一致性則幾乎沒有文獻(xiàn)資料可供參考。穩(wěn)定性和一致性是氣敏傳感器性能的重要指標(biāo)，關(guān)系到氣敏傳感器的應(yīng)用前景。本課題的目的在于探究SiO2的摻雜對金屬氧化物氣敏傳感器穩(wěn)定性的影響，以及經(jīng)過改進(jìn)的絲網(wǎng)印刷工藝對器件一致性的影響。
　　本文使用溶膠凝膠法制備了非晶態(tài)納米級

2、SiO2溶膠，在自制的納米ZnO、In2O3、WO3粉體中摻入不同比例的納米SiO2，對摻雜后的ZnO進(jìn)行了燒結(jié)實驗，并利用絲網(wǎng)印刷技術(shù)將In2O3、WO3兩種材料根據(jù)SiO2含量的不同制備成8種氣敏傳感器。利用自制的穩(wěn)定性一致性平臺，在乙醇和空氣氣氛下進(jìn)行加速老化測試。實驗發(fā)現(xiàn)，SiO2的摻雜可以有效提升傳感器的穩(wěn)定性；并且對敏感性也有一定程度的提升
　　此外，通過對傳統(tǒng)絲網(wǎng)印刷技術(shù)的改進(jìn)，可以實現(xiàn)氣敏膜的全自動對準(zhǔn)及套印。并對