金屬氧化物氣敏薄膜傳感元器件研究.pdf

1、隨著當前工業(yè)農業(yè)、信息科學、環(huán)境檢測等技術的日益提高，氣敏元件應用范圍極廣。我們已經不滿足于現有氣敏元件的綜合性能，需要通過改善工藝或研制新型材料提高其綜合性能以適應當前社會發(fā)展的巨大需求。目前流行于國內外的TGS元件存在諸多不足，例如:氣敏層材料單一、只能進行手工操作，無法實現自動化集成化生產、靈敏度和功耗相對過高。這極大的限制對氣敏元件的探索，因此必須對現有氣敏元件技術進行改造。
　　本論文研究目的在于為研制出響應時間快、長期

2、穩(wěn)定性好、成品率高的新型成熟元件提供可行性方案。本文提出了薄膜氣敏元件光刻工藝的可行方案，并對助剝膜Al剝離劑方案和助剝膜ZnO剝離劑方案進行說明。詳細描述了濺射過程機理，發(fā)現了濺射過程的有效區(qū)。通過對濺射離子碰撞襯底結合能Eact的估算，解釋了PAr*的存在和有關概念。并對金屬氧化物氣敏元器件的性能測試與結果分析。目的是為新一代氣敏元件提供使用參數，同時為其他功能元件的研制提供參考。氣敏元件氣敏特性曲線說明兩項與元件性能相關內容及元件