外延片在線曲率測(cè)量?jī)x的研制.pdf

1、由于現(xiàn)有商用在線曲率測(cè)量?jī)x在硅方格圖形襯底外延中無(wú)法使用,為了能獲得Si圖形襯底GaN外延生長(zhǎng)過(guò)程中的應(yīng)力變化信息,本文設(shè)計(jì)制造了一種在線曲率測(cè)量?jī)x,并首次得到了硅方格圖形襯底外延生長(zhǎng)過(guò)程中外延片的曲率變化信息。
　　 本文首先說(shuō)明了商用在線曲率測(cè)量?jī)x在Si方格圖形襯底中所遇到的問(wèn)題,并介紹了本文所設(shè)計(jì)的在線曲率測(cè)量?jī)x的測(cè)量原理和系統(tǒng)整體架構(gòu),以此為基礎(chǔ)設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)了測(cè)量?jī)x的硬件和軟件。接著本文詳細(xì)介紹了硬件各個(gè)功能模塊(包括光路部

2、分、機(jī)械傳動(dòng)部分和電子電路部分)的設(shè)計(jì)方案和元器件性能,詳細(xì)說(shuō)明了以VisualBasic為平臺(tái),在線曲率測(cè)量?jī)x軟件部分的開(kāi)發(fā),著重介紹了步進(jìn)電機(jī)控制部分和數(shù)據(jù)擬合運(yùn)算部分的程序設(shè)計(jì)思路。最后本文介紹了在線曲率測(cè)量?jī)x在外延實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)中的實(shí)際應(yīng)用。系統(tǒng)測(cè)量分辨率達(dá)到了2Km-1,不亞于同類(lèi)商用儀器的測(cè)量精度。
　　 從調(diào)試和測(cè)試結(jié)果來(lái)看,本在線曲率測(cè)量?jī)x成功裝配應(yīng)用于ThomasSwanCCSMOCVD,可以提供Si圖形襯底外延生