二維微光柵掃描鏡偏轉(zhuǎn)特性研究及應(yīng)用.pdf

1、隨著半導(dǎo)體激光器的引入和基于MOEMS的光學(xué)成像系統(tǒng)的產(chǎn)生，投影顯示技術(shù)逐漸擺脫原來(lái)的CRT投影顯示技術(shù)、LCD投影顯示技術(shù)存在的壽命短、亮度不均勻性突出等問(wèn)題，已發(fā)展出DLP，GLV等新型投影顯示技術(shù)。為進(jìn)一步簡(jiǎn)化MOEMS器件結(jié)構(gòu)，本論文在分析測(cè)試新型二維MEMS電熱式光柵掃描型器件工作特性的基礎(chǔ)上就今后其投影顯示應(yīng)用方向開(kāi)展了相應(yīng)的研究。
　　本論文首先介紹了二維微光柵掃描器件的研究背景，包括微光柵掃描器件的結(jié)構(gòu)原理及國(guó)內(nèi)外

2、研究現(xiàn)狀等，分析了微光柵掃描器件現(xiàn)有幾種驅(qū)動(dòng)模式各自的優(yōu)缺點(diǎn)，并在此基礎(chǔ)上提出了基于電熱式微光柵掃描器件的顯示應(yīng)用研究；接著通過(guò)實(shí)驗(yàn)測(cè)試和理論推導(dǎo)，對(duì)電熱式微光柵掃描器件的特征參數(shù)進(jìn)行研究，確定其部分關(guān)鍵性能指標(biāo)：如最大偏轉(zhuǎn)角±16.3°，諧振工作頻率分布在200Hz，400Hz，780Hz等；然后在現(xiàn)有光柵掃描模式的基礎(chǔ)上對(duì)其進(jìn)行了一維和二維動(dòng)態(tài)掃描特性研究，重點(diǎn)討論由于微光柵掃描器件運(yùn)動(dòng)過(guò)程中的非線(xiàn)性變化，出現(xiàn)的“笑臉畸變”，比較其

3、與桶形畸變、枕形畸變的差異，參考原有CRT圖像畸變校正算法并結(jié)合LCoS光路結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)提出了對(duì)應(yīng)的解決方案；另外，詳細(xì)闡述了基于FPGA的VerilogHDL設(shè)計(jì)過(guò)程和基于LabView虛擬儀器的系統(tǒng)反饋過(guò)程，充分利用LabView平臺(tái)的自帶函數(shù)庫(kù)和PSD位置敏感探測(cè)器，完成微型投影儀樣機(jī)的初步實(shí)現(xiàn)。它可以?huà)呙璩鲆幌盗泻?jiǎn)單的圖案，例如通過(guò)查表法和函數(shù)生成法掃描如直線(xiàn)、圓形、五角星、內(nèi)五環(huán)等圖形，也可實(shí)現(xiàn)較平整的光柵掃描功能。論文最后基于激