二維微光柵掃描鏡偏轉特性研究及應用.pdf

1、隨著半導體激光器的引入和基于MOEMS的光學成像系統(tǒng)的產(chǎn)生，投影顯示技術逐漸擺脫原來的CRT投影顯示技術、LCD投影顯示技術存在的壽命短、亮度不均勻性突出等問題，已發(fā)展出DLP，GLV等新型投影顯示技術。為進一步簡化MOEMS器件結構，本論文在分析測試新型二維MEMS電熱式光柵掃描型器件工作特性的基礎上就今后其投影顯示應用方向開展了相應的研究。
　　本論文首先介紹了二維微光柵掃描器件的研究背景，包括微光柵掃描器件的結構原理及國內外

2、研究現(xiàn)狀等，分析了微光柵掃描器件現(xiàn)有幾種驅動模式各自的優(yōu)缺點，并在此基礎上提出了基于電熱式微光柵掃描器件的顯示應用研究；接著通過實驗測試和理論推導，對電熱式微光柵掃描器件的特征參數(shù)進行研究，確定其部分關鍵性能指標：如最大偏轉角±16.3°，諧振工作頻率分布在200Hz，400Hz，780Hz等；然后在現(xiàn)有光柵掃描模式的基礎上對其進行了一維和二維動態(tài)掃描特性研究，重點討論由于微光柵掃描器件運動過程中的非線性變化，出現(xiàn)的“笑臉畸變”，比較其

3、與桶形畸變、枕形畸變的差異，參考原有CRT圖像畸變校正算法并結合LCoS光路結構設計提出了對應的解決方案；另外，詳細闡述了基于FPGA的VerilogHDL設計過程和基于LabView虛擬儀器的系統(tǒng)反饋過程，充分利用LabView平臺的自帶函數(shù)庫和PSD位置敏感探測器，完成微型投影儀樣機的初步實現(xiàn)。它可以掃描出一系列簡單的圖案，例如通過查表法和函數(shù)生成法掃描如直線、圓形、五角星、內五環(huán)等圖形，也可實現(xiàn)較平整的光柵掃描功能。論文最后基于激