安徽省真空計量站建設與寬量真空計研制.pdf

1、真空計量器具廣泛應用于工業(yè)加工和科學實驗領域，其種類繁多，樣式各異。由于使用中的真空計大多數(shù)都是間接測量真空度的，因此需要對這些真空計進行校準，以檢定其是否能準確顯示。安徽省真空計量站的建立不僅可以滿足學校自身科學研究的需求，還可以為鄰近的華東、華中真空相關企業(yè)提供良好的服務平臺。本文主要介紹安徽省真空計量站建設的前期準備工作，內容包括計量站儀器更新、系統(tǒng)搭建、系統(tǒng)預抽、系統(tǒng)檢漏、真空室烘烤等。通過電容薄膜規(guī)比對實驗、副標準真空計比對實

2、驗和靜態(tài)膨脹法實驗，在104～10-4Pa范圍內對待校準真空計進行了寬量程校準，從而從硬件構建和軟件調試兩方面保證系統(tǒng)具備真空校準檢定能力。
　　 真空傳感器都有測量上、下限，而實際應用中可能需要從大氣壓一直測到高真空，因此，寬量程真空計一直是研究開發(fā)的熱點。本文研制了一種采用熱偶規(guī)和電離規(guī)復合形式的寬量程真空計，低真空、高真空信號分別由熱偶規(guī)、電離規(guī)采集，真空規(guī)及其量程切換由電控處理系統(tǒng)自動完成，可測真空范圍為105～10-5