熱偶規(guī)真空計的設(shè)計與研究.pdf

1、真空技術(shù)是現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的一個重要組成部分，它推動并促進(jìn)了科技研究和生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展，而真空測量是真空技術(shù)的一個重要環(huán)節(jié)。作為真空度測量設(shè)備的真空計類型很多，由于各種真空測量方法的局限性，其靈敏度、量程和用途各不相同。在電子技術(shù)和計算機(jī)技術(shù)的迅速發(fā)展推動下，真空計的設(shè)計與研發(fā)正朝著高精度、小型化、集成化、系統(tǒng)化、智能化方向邁進(jìn)。
　　熱偶真空計以其性能穩(wěn)定、抗沾污、抗氧化、價格適中等優(yōu)點(diǎn)被廣泛應(yīng)用于低真空測量領(lǐng)域，但由于熱偶規(guī)這種傳感

2、器存在著較強(qiáng)的非線性，致使在數(shù)據(jù)處理上存在一系列的問題。為了提高測量精度，必須對其非線性進(jìn)行處理。用傳統(tǒng)數(shù)值計算方法處理，計算量繁重、過程冗雜。
　　本文對熱偶規(guī)真空計的基本結(jié)構(gòu)和工作原理加以研究分析，然后根據(jù)其特點(diǎn)提出具體的設(shè)計方案。本設(shè)計采用 Mathematica數(shù)學(xué)軟件中高次函數(shù)擬合功能，來擬合熱偶規(guī)傳感器的非線性特性，最后以熱偶規(guī)管作為傳感器，將被測環(huán)境的壓強(qiáng)信號轉(zhuǎn)換為微弱的電信號，經(jīng)過信號放大和 A/D轉(zhuǎn)換，送入單片機(jī)