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文檔簡介
1、精密定位技術(shù)是半導體器件制造業(yè)、超精密加工、微型機械、電子產(chǎn)品組裝生產(chǎn)線、生物工程及納米技術(shù)等研究領(lǐng)域的關(guān)鍵性基礎(chǔ)性技術(shù),同時也是一門綜合性技術(shù).它涉及到光學、電子、機械、計算機、信息處理、傳感與測量、伺服驅(qū)動、自動控制及其它一些周邊支撐技術(shù).該論文提出了一種利用激光摩爾信號進行高精度位置檢測與控制的技術(shù)方法,首先分析了兩衍射光柵的位移偏差與激光摩爾信號強度的關(guān)系,推導出雙光柵衍射光強方程,建立了高精度位置檢測的數(shù)學模型,并通過計算機仿
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