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文檔簡介
1、氧化鋅屬于的寬帶隙(3.37eV)半導(dǎo)體,常溫下激子束縛能為60meV。其結(jié)構(gòu)為纖鋅礦晶體結(jié)構(gòu),室溫下可以實現(xiàn)受激發(fā)射。由于氧化鋅具有獨特的光學(xué)、電學(xué)等性能而被認為是重要的新型多功能材料。它在光電子學(xué)、激光器以及光電二極管等方面有重要的應(yīng)用。ZnO成為當今半導(dǎo)體材料研究領(lǐng)域的熱點是由于1997年Tang等人報道了ZnO薄膜的近紫外受激發(fā)射現(xiàn)象。最近,由于氧化鋅納米陣列具有更好的光電性能而再次成為研究的熱點。氧化鋅納米陣列的制備在很大程度
2、上是研究納米陣列生長位置、尺寸、方向以及均一性的可控性。
本論文主要采用水溶液法,在具有pattern的藍寶石基片上,采用不同生長溫度成功的制備出了氧化鋅納米結(jié)構(gòu),并利用反刻蝕法在pattern藍寶石基片上制備出了規(guī)則的氧化鋅納米管;利用X射線衍射、FLS920穩(wěn)態(tài)/瞬態(tài)熒光光譜儀以及掃描電子顯微鏡(SEM)等表征方法對薄膜的結(jié)構(gòu)、光學(xué)性能、表面形貌進行了分析,探討了水溶液中不同生長溫度對氧化鋅結(jié)構(gòu)的影響,以及反刻蝕制備氧化鋅
3、納米管的機理。主要研究內(nèi)容如下:
(a)采用兩步水溶液法,在經(jīng)過酸煮的普通藍寶石(0001)和pattern藍寶石(0001)基片上用脈沖激光沉積法預(yù)先沉積一層ZnO種子,然后通過控制溶液生長溫度制備ZnO納米結(jié)構(gòu)。X射線衍射儀的2θ掃描結(jié)果顯示,在兩種藍寶石基片上制備的氧化鋅納米結(jié)構(gòu)均具有高c軸擇優(yōu)取向。室溫PL光譜表明,在兩種藍寶石基片上不同溫度下制備的氧化鋅薄膜其紫外及可見發(fā)光差別較大,其中在pattern藍寶石基片上8
4、0℃條件下生長的氧化鋅納米結(jié)構(gòu)具有最強的紫外發(fā)光。SEM結(jié)果顯示,隨著水溶液中生長溫度的增高,六角氧化鋅納米柱的尺寸在減小,長徑比在增大。這些結(jié)果表明高質(zhì)量的、規(guī)則的、具有非常好紫外發(fā)光性能的ZnO納米結(jié)構(gòu)能夠采用本文的方法很容易的制備出來。
(b)采用兩步水溶液法,在經(jīng)過酸煮的pattern藍寶石基片上成功的制備了規(guī)則的氧化鋅納米柱陣列;通過對制備出的氧化鋅納米陣列樣品進行反刻蝕,可以得到紫外發(fā)光性能好的氧化鋅納米管陣列。通
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