基于ARM的擴(kuò)散-氧化控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì).pdf

1、隨著計(jì)算機(jī)技術(shù)的發(fā)展，近幾年智能電子產(chǎn)品進(jìn)入人們的生活，漸漸改變和優(yōu)化人們的生活。在控制領(lǐng)域，同樣感受到智能時(shí)代的到來(lái)。高速、穩(wěn)定、可視化、智能化是現(xiàn)代儀表技術(shù)的顯著特點(diǎn)。在滿足工業(yè)需要的同時(shí)，智能儀表大大解放了生產(chǎn)力。
　　 擴(kuò)散/氧化作為半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)線上非常重要的一種工藝設(shè)備，必須能夠高精度、高穩(wěn)定性、長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)工作?，F(xiàn)如今，擴(kuò)散/氧化設(shè)備主要由PLC和工控機(jī)組成。隨著智能電子產(chǎn)品的出現(xiàn)和得到認(rèn)可，一種基于新一代處理器-A

2、RM的擴(kuò)散/氧化設(shè)備的出現(xiàn)成為可能。ARM是基于RISC技術(shù)開(kāi)發(fā)的芯片，具有功能強(qiáng)、功耗小和擁有32位/16位雙指令集。
　　 課題主要研究基于ARM的擴(kuò)散/氧化控制系統(tǒng)。本課題應(yīng)用的控制器S3C2440內(nèi)部有豐富資源，并且具有主頻高和擴(kuò)展靈活的特點(diǎn)，能夠?qū)崿F(xiàn)具有友好人機(jī)界面的控制系統(tǒng)。為了更好的觀察系統(tǒng)的溫度變化，系統(tǒng)需要開(kāi)發(fā)溫度趨勢(shì)圖，使溫度變化一目了然。
　　 本文將首先介紹系統(tǒng)的整體解決方案，并對(duì)硬件的基本原理以