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1、多重入制造系統(tǒng)是以半導(dǎo)體、膠卷等行業(yè)為代表的一類(lèi)復(fù)雜生產(chǎn)系統(tǒng),隨著信息科技和微電子行業(yè)的迅速發(fā)展,多重入制造系統(tǒng)受到學(xué)術(shù)界和工程界的普遍關(guān)注。重入現(xiàn)象的存在,加劇了工件對(duì)設(shè)備使用權(quán)的競(jìng)爭(zhēng),加上生產(chǎn)線(xiàn)上產(chǎn)品種類(lèi)、數(shù)量及其工藝的不同,使得多重入制造系統(tǒng)控制和調(diào)度問(wèn)題比一般制造系統(tǒng)更加復(fù)雜。
半導(dǎo)體制造是高投資、高收益、高風(fēng)險(xiǎn)和競(jìng)爭(zhēng)最為激烈的產(chǎn)業(yè)之一,作為多重入制造系統(tǒng)的典型代表,研究半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)的控制與優(yōu)化具有深刻的理論意義和
2、廣泛的應(yīng)用前景。針對(duì)半導(dǎo)體制造系統(tǒng)可重入性、復(fù)雜性、不確定性高、多約束、多目標(biāo)等特點(diǎn),借鑒各種智能方法的優(yōu)勢(shì),本文從生產(chǎn)線(xiàn)上主要存在的投料控制、工件調(diào)度和設(shè)備維護(hù)調(diào)度三種類(lèi)型調(diào)度分別展開(kāi)研究,探索控制和優(yōu)化策略:
1.借鑒模糊Petri網(wǎng)推理的思想進(jìn)行半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)投料控制方法的研究,以生產(chǎn)線(xiàn)實(shí)時(shí)信息為依據(jù),推理決定系統(tǒng)應(yīng)采取的投料控制行為,盡可能發(fā)揮系統(tǒng)生產(chǎn)能力;
2.研究一種基于模擬退火算法的半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)優(yōu)
3、化調(diào)度策略,綜合考慮生產(chǎn)線(xiàn)投料控制和工件調(diào)度,采用基于規(guī)則的編碼,將規(guī)則的簡(jiǎn)潔性與模擬退火算法的強(qiáng)大搜索能力相結(jié)合,在較短時(shí)間內(nèi)給出最優(yōu)的調(diào)度規(guī)則組合;
3.采用自適應(yīng)神經(jīng)模糊推理系統(tǒng)構(gòu)建半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)故障預(yù)測(cè)模型,在原有設(shè)備維護(hù)調(diào)度的基礎(chǔ)上嵌入該故障預(yù)測(cè)模型,給出新的設(shè)備維護(hù)調(diào)度方案,以增強(qiáng)生產(chǎn)線(xiàn)故障預(yù)知能力,改善生產(chǎn)線(xiàn)性能。
仿真結(jié)果顯示:所提控制和優(yōu)化調(diào)度策略均能一定程度上改善生產(chǎn)線(xiàn)性能,是可行有效的,對(duì)
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