平面光波導(dǎo)耦合封裝研究.pdf

1、該論文主要進(jìn)行研究平面光波導(dǎo)耦合封裝技術(shù)的研究,包括光波導(dǎo)耦合對準(zhǔn)方案的設(shè)計(jì)、光纖陣列的選擇、1×16平面波導(dǎo)器件封裝與可靠性測試等內(nèi)容,具體內(nèi)容如下:(1)綜述了集成光子器件及其發(fā)展與前景,介紹了集成光子器件相關(guān)封裝技術(shù)和該課題研究的目的與內(nèi)容.(2)對所采用的單模光纖和條形波導(dǎo)進(jìn)行了橫向輸出場型與縱向輸出場型的測試,探討了所用光纖與條形波導(dǎo)之間的耦合損耗,提出了降低耦合損耗的解決辦法,發(fā)現(xiàn)波導(dǎo)端面間FP現(xiàn)象并進(jìn)行了相關(guān)的探討研究,最

2、后設(shè)計(jì)了無源光刻對準(zhǔn)與有源對準(zhǔn)兩套新穎的波導(dǎo)對準(zhǔn)方案.(3)針對所采用的光纖陣列,介紹了V形槽與光纖陣列的制作,分別指出了影響光纖陣列品質(zhì)與可靠性的因素,提出了兩種新的光纖陣列可靠性簡易測試方法,并進(jìn)行了理論上的論述,最后選擇了1×16平面波導(dǎo)光分路器封裝所需的光纖陣列.(4)介紹了分支平面波導(dǎo)光分路器工作原理、芯片制作;定義了平面光波導(dǎo)分路器的各項(xiàng)參數(shù);根據(jù)前面設(shè)計(jì)的光波導(dǎo)有源對準(zhǔn)方案和所選擇的光纖陣列,封裝了一批1×16平面波導(dǎo)光分