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1、MOCVD系統(tǒng)在系統(tǒng)在GaAs太陽電池中太陽電池中的應(yīng)用研究的應(yīng)用研究ResearchonMOCVDSystemInGaAsSolarCellApplication領(lǐng)域：集成電路工程研究生：高偉指導(dǎo)教師：張平企業(yè)導(dǎo)師：王保民天津大學(xué)電信學(xué)院二零一三年三月摘要摘要本文針對MOCVD系統(tǒng)在生產(chǎn)GaAs太陽電池過程中影響太陽電池性能的一些問題，研究解決技術(shù)途徑并加以實施驗證。在保證MOCVD系統(tǒng)正常運轉(zhuǎn)前提下研究提高三結(jié)太陽電池光電轉(zhuǎn)換效率的
2、技術(shù)途徑。具體內(nèi)容如下：MOCVD系統(tǒng)是一個很復(fù)雜的有機整體，由MOCVD設(shè)備和多個配套設(shè)備構(gòu)成。本文研究了每個組成部分的工作機理與用途，MOCVD系統(tǒng)在應(yīng)用研究過程中會出現(xiàn)外延片表面落塵、生長溫度漂移、外延層組分不穩(wěn)定、襯底的處理、反應(yīng)室氣密性、備件清洗等問題，這些問題都會影響GaAs太陽電池生長質(zhì)量。研究制定了提高三結(jié)GaAs太陽電池光電轉(zhuǎn)換效率的技術(shù)途徑，針對三結(jié)電池中的三個子電池，研究優(yōu)化各個參數(shù)，進而提高太陽電池的整體電流，使
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