運(yùn)用選擇性發(fā)射極以及二次印刷工藝的太陽能電池工藝優(yōu)化.pdf

1、進(jìn)入21世紀(jì)以來,在國家重視環(huán)保、大力開發(fā)新能源和可再生能源的政策背景下,我國太陽能電池的發(fā)展日新月異。在世界能源日趨緊張的形勢下,太陽能行業(yè)的發(fā)展變得尤其重要。同時(shí),最近5年以來,國內(nèi)太陽能行業(yè)的發(fā)展也蒸蒸日上,行業(yè)的競爭更是日漸激烈。在這樣的背景下,開發(fā)高效的太陽能電池是眾多太陽能企業(yè)得以生存的唯一出路。目前太陽能業(yè)界通過傳統(tǒng)的工藝制備的多晶硅電池的轉(zhuǎn)換效率基本在16.6％左右,為了進(jìn)一步提高轉(zhuǎn)換效率,需要引進(jìn)新的生產(chǎn)工藝。

2、　　本論文研究的主要內(nèi)容是基于實(shí)際高效電池生產(chǎn)線的工藝,通過運(yùn)用Selective Emitter(選擇性發(fā)射極)工藝,二次印刷Ag正電極工藝,匹配PN結(jié)方阻與刻蝕后方阻以及提高減反射膜質(zhì)量等方法,來提高太陽能電池效率。本文重點(diǎn)研究和解決制絨工藝的窗口改善問題,擴(kuò)散后方阻與后清洗后的方阻有效的匹配,Si3N4防反射膜的鈍化效果改善,選擇性發(fā)射極制備過程中蠟印與絲網(wǎng)印刷時(shí)的對準(zhǔn)問題以及絲網(wǎng)印刷中的燒結(jié)匹配問題。通過改善以上的工藝問題,預(yù)期

3、將轉(zhuǎn)換效率提高到17%左右。
　　本論文通過摸索制絨的工藝條件,尋找優(yōu)化的工藝窗口,提高轉(zhuǎn)換效率0.13%左右;通過調(diào)整擴(kuò)散工藝方案實(shí)現(xiàn)淺結(jié)摻雜,提高轉(zhuǎn)換效率0.1%;通過匹配后清洗多孔硅厚度,提高轉(zhuǎn)換效率0.06%;通過在PECVD工序采用優(yōu)化的雙層膜工藝,提高轉(zhuǎn)換效率0.1%;最后通過對絲網(wǎng)印刷中燒結(jié)區(qū)溫度的優(yōu)化,提高轉(zhuǎn)換效率0.1%左右。
　　通過以上的工藝優(yōu)化,我們實(shí)際的轉(zhuǎn)換效率從16.6%提高到了17.1%,超過了