子波面掃描法長焦距透鏡波面檢測系統(tǒng)研究.pdf

1、大口徑長焦距透鏡是超大功率激光系統(tǒng)的重要組成原件，研究對其進行像質檢測的系統(tǒng)對解決如今日益嚴峻的能源問題有著重要的意義。但如今仍沒有對其進行行之有效的檢測方法。為了解決這個問題，本文提出一種通過子孔徑掃描的方法對大口徑長焦距透鏡進行檢測的新方案，并在完成了檢測裝置的設計、安裝和調試，最終成功完成了波面檢測。
　　 該方案主要可以分為兩個步驟。第一步通過子孔徑波面掃描，對朗奇光柵利用泰伯效應產(chǎn)生的莫爾條紋進行采集，運用數(shù)字圖像處理

2、的方法，獲取子孔徑的波面斜率數(shù)據(jù)；第二步對波面數(shù)據(jù)進行以澤尼克多項式為基底的模式法重構，從而獲取大口徑長焦距透鏡的全口徑波面。在測量裝置的實際制作中，結合實際測量情況，兼顧測量精度和工程化，提出回程驗算、迭代重構等多種有效的方案控制實際測量的精度，提高了數(shù)據(jù)的可靠性、穩(wěn)定性。
　　 干涉儀由于受到裝置、場地的限制，一般對于很長焦距的透鏡無法測量。為了對本測試裝置測試結果進行驗證，選用一個焦距10m左右的平凸透鏡(仍能用干涉儀進行