子波面掃描法長焦距透鏡波面檢測系統(tǒng)研究.pdf

1、大口徑長焦距透鏡是超大功率激光系統(tǒng)的重要組成原件，研究對其進(jìn)行像質(zhì)檢測的系統(tǒng)對解決如今日益嚴(yán)峻的能源問題有著重要的意義。但如今仍沒有對其進(jìn)行行之有效的檢測方法。為了解決這個問題，本文提出一種通過子孔徑掃描的方法對大口徑長焦距透鏡進(jìn)行檢測的新方案，并在完成了檢測裝置的設(shè)計、安裝和調(diào)試，最終成功完成了波面檢測。
　　 該方案主要可以分為兩個步驟。第一步通過子孔徑波面掃描，對朗奇光柵利用泰伯效應(yīng)產(chǎn)生的莫爾條紋進(jìn)行采集，運用數(shù)字圖像處理

2、的方法，獲取子孔徑的波面斜率數(shù)據(jù)；第二步對波面數(shù)據(jù)進(jìn)行以澤尼克多項式為基底的模式法重構(gòu)，從而獲取大口徑長焦距透鏡的全口徑波面。在測量裝置的實際制作中，結(jié)合實際測量情況，兼顧測量精度和工程化，提出回程驗算、迭代重構(gòu)等多種有效的方案控制實際測量的精度，提高了數(shù)據(jù)的可靠性、穩(wěn)定性。
　　 干涉儀由于受到裝置、場地的限制，一般對于很長焦距的透鏡無法測量。為了對本測試裝置測試結(jié)果進(jìn)行驗證，選用一個焦距10m左右的平凸透鏡(仍能用干涉儀進(jìn)行