長焦距透鏡像質(zhì)評價技術(shù)的研究.pdf

1、本論文旨在對長焦距透鏡面形檢測方法進行新的探索，提出了基于Konchi光柵泰伯效應(yīng)的掃描測量法，可以大大提高檢測效率，并給出定量的檢測結(jié)果。主要工作及研究結(jié)果包括： 1，簡要介紹了激光核聚變的有關(guān)知識，闡述了在ICF激光驅(qū)動系統(tǒng)中光學元件光學質(zhì)量評價及其關(guān)鍵評價指標，以及長焦距球面透鏡在ICF驅(qū)動系統(tǒng)中的作用。 2，簡要介紹了當前采用的測量長焦距球面透鏡焦距以及檢測透鏡面形誤差的傳統(tǒng)方法，重點闡述了透鏡焦距測量的新方法—

2、—基于Ronchi光柵泰伯效應(yīng)的長焦距測量法，及長焦距透鏡面形檢測的刀口測量法。 3，對基于Ronchi光柵泰伯效應(yīng)的長焦距測量儀的重復性測量精度進行重新效核，研究了溫度場對其測量精度的影響，并提出了改進方案，進行了實驗研究，與未改進測量儀相比測量穩(wěn)定性提高了8～10倍，標準差達到了1‰左右，使得測量儀的測量精度及其穩(wěn)定性達到了實際測量的要求。4，利用長焦距測量儀對大口徑長焦距透鏡表面局部區(qū)域的焦距測量，提出基于Ronchi光柵

3、泰伯效應(yīng)的子孔徑掃描測量法，對長焦距透鏡的面形進行高精度的定量檢測。建立了掃描檢測模型，編制了數(shù)據(jù)處理程序，并進行了有關(guān)的實驗研究，證實了它的可行性。 5，對基于Ronchi光柵泰伯效應(yīng)的子孔徑掃描測量系統(tǒng)的精度進行了分析，闡述了影響測量精度的因素，探討了這種檢測方法在實際檢測工作中的應(yīng)用價值。 6，對基于Ronchi光柵泰伯效應(yīng)的子孔徑掃描測量系統(tǒng)進行了實驗論證，通過對待測光學元件進行掃描測量實驗，將實驗結(jié)果與刀口測量