原位橢偏儀研究聚苯乙烯薄膜溶脹-收縮過程.pdf

1、分類號UDC：密級編號原位橢偏儀研究聚苯乙烯薄膜溶脹／收縮過程STUDYOFPOLYSTYRENEFILMSWELL／SHRINKPROCESSBYINSITUELLIPSoMETRY學(xué)位援予單位及代碼：量壹理王盍堂I!Q!豎2學(xué)科專業(yè)名稱及代碼：五丑也望!QZQ塑!)研究萬同：玉扭堂皇墅篚扭型申請學(xué)位級別：亟指導(dǎo)教師：直壹彥研宄生：奎建避論文起止時間：墊業(yè)』E蛩唑摘要橢偏測戢技術(shù)(SE)是一種研究表嘶、界if『『和薄膜分析的光學(xué)技術(shù)。

2、sE氈通過對偏振光在樣品袁斷反射自口后偏扳態(tài)的改變進(jìn)行分析柬獲取薄膜樣品的結(jié)構(gòu)信息，它的應(yīng)用不僅限于測量得到材料的厚度和特性，它還被丌發(fā)用于控制過程苦息收集、幾何因素、各同異性、缺陷和納米結(jié)構(gòu)的量子束縛效應(yīng)。本論文主要工作如下：(1)原位研究聚苯己烯薄膜溶脹做縮行為，實(shí)驗(yàn)利用自制的樣品池。將以硅片為堪底的聚苯乙烯薄膜在心氧呋哺氣氛下溶脹，然后在乙醇?xì)夥鷕收縮，利用單波長實(shí)驗(yàn)跟蹤薄膜結(jié)構(gòu)的動態(tài)變化，描述薄膜湃HK／收縮行為?！?)多波長實(shí)