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文檔簡介
1、利用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)研發(fā)出來的微慣性傳感器,由于其具有壽命長、成本低、可靠性高、體積小等優(yōu)點(diǎn),在軍事裝備和工業(yè)產(chǎn)品領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。微加速度計(jì)和陀螺儀是慣性傳感器的兩種典型結(jié)構(gòu),雖然目前國內(nèi)外有不少單位從事此方面研究,但在多軸測量、高過載、大量程等方面都存在著很多的技術(shù)難點(diǎn)。
本文以電容式加速度計(jì)和振動式陀螺儀為研究對象,通過對不同類型、結(jié)構(gòu)的加速度計(jì)和陀螺儀進(jìn)行優(yōu)劣比較,最終確定了內(nèi)端固定三軸梳齒電容式加
2、速度計(jì)和振動環(huán)式陀螺儀兩種結(jié)構(gòu),對這兩種結(jié)構(gòu)進(jìn)行了理論計(jì)算和結(jié)構(gòu)參數(shù)優(yōu)化,確定了最終優(yōu)化尺寸。
利用有限元分析軟件ConventorWare對該加速度計(jì)模型進(jìn)行了靜態(tài)學(xué)分析、過載分析、線性度分析、機(jī)電耦合分析、pull_in分析、瞬態(tài)分析和模態(tài)分析,從理論上說,該加速度計(jì)在滿量程(10萬g)狀態(tài)下能夠安全工作,在Z軸向過載達(dá)到19萬g,在X、Y軸向過載高達(dá)34萬g;對陀螺儀模型進(jìn)行了靜態(tài)學(xué)分析、過載分析和模態(tài)分析,該陀螺儀
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