抗高過(guò)載微慣性測(cè)量單元設(shè)計(jì)與分析.pdf

1、隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）在民用和軍用領(lǐng)域都具有廣泛的應(yīng)用。在MEMS的軍事應(yīng)用中，慣性導(dǎo)航是一個(gè)重要的研究方向?；贛EMS技術(shù)的慣性導(dǎo)航系統(tǒng)具有的組合定位精度高、體積小、抗惡劣環(huán)境能力強(qiáng)、成本低等優(yōu)點(diǎn)，符合傳統(tǒng)彈藥制導(dǎo)化的發(fā)展需求。本文研究設(shè)計(jì)了一款適用于高過(guò)載沖擊應(yīng)用環(huán)境下的微慣性測(cè)量單元。
　　根據(jù)項(xiàng)目需求進(jìn)行了微慣性測(cè)量單元的總體方案設(shè)計(jì)。按照設(shè)計(jì)方案，選擇國(guó)內(nèi)研究所自研的MEMS慣性傳感器并設(shè)計(jì)應(yīng)用電

2、路，實(shí)現(xiàn)慣性測(cè)量功能。依照慣性測(cè)量原理，選擇高強(qiáng)度金屬設(shè)計(jì)支撐結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)MEMS慣性傳感器測(cè)量軸的正交裝配，保證在高過(guò)載環(huán)境下結(jié)構(gòu)的可靠性。選擇聚氨酯發(fā)泡作為抗高過(guò)載保護(hù)的緩沖材料，保護(hù)高過(guò)載沖擊環(huán)境下的電子器件。分別對(duì)機(jī)械結(jié)構(gòu)以及灌封后的整體組件進(jìn)行ANSYS有限元分析。仿真結(jié)果對(duì)微慣性測(cè)量單元的抗高過(guò)載防護(hù)設(shè)計(jì)提供了理論依據(jù)。選擇ARM微處理器并設(shè)計(jì)相應(yīng)的主控電路，實(shí)現(xiàn)微慣性測(cè)量單元的數(shù)據(jù)處理與通信功能。利用圖形編程軟件LabVie